洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
H.1 分子态污染物(amc)
H.1.1 分子态污染物主要包括以下四种：
1 酸性气体(表示为A)：NOx、SOx、HF、HCl、H2SO4等。
2 碱性气体(表示为B)：NH3
3 凝聚性有机物(表示为C)：在常温常压下容易凝结在物体表面的有机物，包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有机物等。
4 金属掺杂物(表示为D)：Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。
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