洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
H.2 检测方法
H.2.1 分子态污染物可采用以下采样方法和分析方法:
1 采样方法包括被动式采样方法和主动式采样方法。前者采样周期较长,后者要有较复杂的仪器。
主动式采样方法包括:撞击法、吸附管法、扩散采样分析法、过滤器收集法、采样袋(罐)法、晶圆片或平板法、液滴扫描提取法等。
2 空气分子态污染物浓度的分析法包括在线分析法和离线分析法。
在线分析法可用磁带记录法、紫外线照射法、转筒式化学浸渍滤纸分析仪(CPR)上比色检测法、离子迁移率色谱(IMS)法、便携式气相色谱仪(PGC)法、离子色谱监控(ICS)法、化学发光监控(CLS)法、表面声波(SAW)等专用仪器直接测定分子浓度。但应注意仪器的测定下限和测量范围。
离线分析法,应在主动采样完毕经实验室分析后得出各种成分浓度。
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