3 空气洁净度等级

3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定：
    1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3.0.1确定。

表3.0.1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

    2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算：

式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数；
      N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量；
      D——要求的粒径（μm）；
      0.1——常数，其量纲为μm。
    3 当工艺要求粒径不止一个时，相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
    4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态，空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。
3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。
3.0.4 当洁净室（区）内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。