9.4 自动控制

9.4.1 洁净厂房设置一套较完整的自动监控装置，对确保洁净厂房的正常生产和提高运行管理水平十分有利，但建设投资增加。各类洁净厂房内包括洁净室空气洁净度、温度和湿度的监控，洁净室的压差监控，高纯气体、纯水的监控，气体纯度、纯水水质的监测等的要求是不同的，并且各行各业的洁净室（区）的规模、面积也是不同的，所以自动监控装置的功能应视工程具体情况确定，宜设计成各种类型的监测、控制系统，只有相当规模的洁净厂房宜设计成集散式计算机控制和管理系统。为此本次修订将本条改为推荐性条文。
9.4.2 净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加，阻力逐渐增大，为保持送风风量，经常手动调节系统中的风阀，以增加风量，调整很麻烦；在空气调节系统调试中，系统启动时为使风机空载启动，首先将风机出口处风阀关闭，风机启动后，由于风阀上承受压力很大，打开十分困难。当采用空气过滤器前后压力差的变化控制送风机的变频调速装置后，送风量的调节变得十分容易，送风压力稳定。同时洁净室净化空调系统的送风机采用变频调速后节能十分显著。
9.4.3 为避免净化空调系统因风机停转无风或超温时，电加热器继续送电加热会造成设备损坏甚至发生火灾，本条强制性规定应设置无风、超温断电等保护装置。