8.4 压缩空气

8.4.1 干燥压缩空气系统应根据生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定：

1 供气规模应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗量确定；

2 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径的要求确定；

3 宜选用能耗及噪声低的无油润滑空气压缩机。

8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设置场所及设备布置，应采取防止冷却空气发生短路的措施。

8.4.3 压缩空气系统的管路系统设计应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，并应符合下列规定：

1 当干燥压缩空气露点低于-76℃时，宜采用内壁电抛光不锈钢管，阀门宜采用波纹管阀；

2 当干燥压缩空气露点低于-40℃时，可采用不锈钢管或热镀锌碳钢管，阀门宜采用球阀；

3 压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计，支干管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的管径应按设备最大用气量进行设计；

4 当干燥压缩空气露点低于-40℃时，管道连接的密封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片；

5 压缩空气管道连接宜采用焊接，不锈钢管道应采用氩弧焊；

6 压缩空气管道采用软管连接时，宜选用金属软管。

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