6.6 洁净室气流检测

6.6.1 洁净室气流检测应符合下列规定：
   1 不应用气流动态数值模拟(CFD)的分析结果代替洁净室气流检测；
   2 气流检测包括气流流型、气流流向、流线平行性等，可采用丝线法或示踪剂法(发烟等)等，逐点观察和记录气流流向，并可用量角器测量气流角度，也可采用照相机或摄像机等图像处理技术进行记录，采用热球式风速仪或超声三维风速仪等测量各点气流速度；
   3 采用丝线法时可采用尼龙单丝线、薄膜带等轻质材料，放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动；
   4 采用示踪剂法时，可采用去离子(DI)水，用固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器等生成直径为0.5μm～50μm的水雾，采用四氯化钛(TiCl₄)等“酸雾”作示踪剂时，应确保不致对洁净室、室内设备以及操作人员产生危害。
6.6.2 洁净室气流检测应按下列步骤及方法进行：
   1 气流流型检测时，对于垂直单向流洁净室可选择洁净室纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流洁净室可选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面。所有面上的测点间距均应为0.2m～1.0m。对于乱流洁净室，应选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上的测点间距应为0.2m～0.5m，水平面上的测点间距应为0.5m～1.0m。两个风口之间的中线上应设置测点；
   2 气流流向检测时，应在被测区域内前后之间设置多个测点；
   3 流线平行性检测时，应在每台过滤器下设置测点。