硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
7 冷热源
7.0.1 硅集成电路芯片厂房的冷热源设置应满足当地气候、能源结构、技术经济指标及环保规定，并应符合下列要求：
1 宜采用集中设置的冷热水机组和供热、换热设备，供应应连续可靠；
2 应采用城市、区域供热和当地工厂余热；
3 可采用燃气锅炉、燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷、供热；
4 可采用燃煤锅炉、燃油锅炉供热，电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷、供热。
7.0.2 在需要同时供冷和供热的工况下，冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组，并应采用自动控制的方式调节机组的供热量。
7.0.3 冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择，并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行，冷热源设备不宜少于2台。
7.0.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，可利用冷却塔作为冷源设备。
7.0.5 冷水机组的冷冻水供、回水温差不应小于5℃，在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下，应加大冷冻水供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。
7.0.6 非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用。
7.0.7 当冷负荷变化较大时，冷源系统设备宜采用变频调速控制。
7.0.8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求，采用过渡制冷剂时，其使用年限应符合国家禁用时间。
7.0.9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，且每台锅炉宜独立设置烟囱，烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定。
7.0.10 锅炉房排放的大气污染物，应符合现行国家标准《锅炉大气污染物排放标准》GB 13271和《大气污染物综合排放标准》GB 16297的规定，以及所在地区有关大气污染物排放的规定。
1 宜采用集中设置的冷热水机组和供热、换热设备，供应应连续可靠；
2 应采用城市、区域供热和当地工厂余热；
3 可采用燃气锅炉、燃气热水机组供热或燃气溴化锂吸收式冷热水机组供冷、供热；
4 可采用燃煤锅炉、燃油锅炉供热，电动压缩式冷水机组供冷和吸收式冷热水机组供冷、供热。
7.0.2 在需要同时供冷和供热的工况下，冷水机组宜根据负荷要求选用热回收机组，并应采用自动控制的方式调节机组的供热量。
7.0.3 冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择，并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行，冷热源设备不宜少于2台。
7.0.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，可利用冷却塔作为冷源设备。
7.0.5 冷水机组的冷冻水供、回水温差不应小于5℃，在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下，应加大冷冻水供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。
7.0.6 非热回收水冷式冷水机组的常温冷却水的热量宜回收利用。
7.0.7 当冷负荷变化较大时，冷源系统设备宜采用变频调速控制。
7.0.8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求，采用过渡制冷剂时，其使用年限应符合国家禁用时间。
7.0.9 燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，且每台锅炉宜独立设置烟囱，烟囱的高度应符合相关国家标准及当地环保要求的规定。
7.0.10 锅炉房排放的大气污染物，应符合现行国家标准《锅炉大气污染物排放标准》GB 13271和《大气污染物综合排放标准》GB 16297的规定，以及所在地区有关大气污染物排放的规定。
条文说明
7.0.1 考虑管理、操作、维修的方便性，人工冷热源设备一般采用集中设置的方式，如在工厂建立独立的锅炉房、冷冻站、热交换站等冷、热源供应设施。工厂所在地区的气候条件、能源结构、政策、价格及环保规定也是选择动力设施的必需条件。城市、区域供热系统效率较高、污染小，且符合国家政策鼓励范围，应该是首选；空气源热泵使用与安装较为方便，可用于生活区、办公楼等建筑；地源热泵、水源热泵具有较高的效率，也可用于生活区、办公楼等设施。
7.0.2 热回收冷水机组具有较高的能效比，所以在同时提供冷源与热源的情况下，宜选用热回收机组。
7.0.4 在春、秋过渡季节或冬季，由于室外干球温度较低，冷却塔可以提供10℃～15℃的冷却水，该温度一般可以满足工艺冷却水的需求，且冷却塔制取相同冷量的耗电量远低于冷冻机所需的耗电量，因此，在条件许可时，应利用冷却塔作为冷源设备。
7.0.5 为减少冷冻水泵的电能消耗和冷冻机组单位冷量的耗电量，宜加大冷冻水供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。
7.0.7 当冷负荷变化较大时，规定空调系统部分或全部设备宜采用变频空调是为了节约单位冷量的能源消耗。
7.0.8 制冷剂的选取应符合环保的要求，过渡制冷剂的使用年限也应符合国家禁用时间表的规定，因为现代工程设计必须考虑环保的规定。
7.0.9 选用比例调节燃烧器的全自动锅炉是为了在全负荷范围内保持较高的燃烧与运行效率，工厂在实际运行时，不同季节的热负荷变化较大，锅炉运行台数也处于不断变化之中，因此，规定每台锅炉设置独立的烟囱，有利于烟囱内烟气的排放，防止空气倒灌。
7.0.10 锅炉房排放的大气污染物浓度除了应符合国家标准外，还应符合项目所在地区的地方标准的规定。
7.0.2 热回收冷水机组具有较高的能效比，所以在同时提供冷源与热源的情况下，宜选用热回收机组。
7.0.4 在春、秋过渡季节或冬季，由于室外干球温度较低，冷却塔可以提供10℃～15℃的冷却水，该温度一般可以满足工艺冷却水的需求，且冷却塔制取相同冷量的耗电量远低于冷冻机所需的耗电量，因此，在条件许可时，应利用冷却塔作为冷源设备。
7.0.5 为减少冷冻水泵的电能消耗和冷冻机组单位冷量的耗电量，宜加大冷冻水供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。
7.0.7 当冷负荷变化较大时，规定空调系统部分或全部设备宜采用变频空调是为了节约单位冷量的能源消耗。
7.0.8 制冷剂的选取应符合环保的要求，过渡制冷剂的使用年限也应符合国家禁用时间表的规定，因为现代工程设计必须考虑环保的规定。
7.0.9 选用比例调节燃烧器的全自动锅炉是为了在全负荷范围内保持较高的燃烧与运行效率，工厂在实际运行时，不同季节的热负荷变化较大，锅炉运行台数也处于不断变化之中，因此，规定每台锅炉设置独立的烟囱，有利于烟囱内烟气的排放，防止空气倒灌。
7.0.10 锅炉房排放的大气污染物浓度除了应符合国家标准外，还应符合项目所在地区的地方标准的规定。
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