硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
6.3 机械
6.3.1 动力设备应采取动平衡好、运行平稳、低噪声的产品。
6.3.2 对于易产生振动的动力设备及管道应采取隔振、减振措施。
6.3.3 对于靠近振动敏感区的管道应控制管道内介质的流速。
6.3.4 精密设备和仪器的防微振宜采用专用防振基座，其基座平台的基本频率应避开其下支承结构的共振频率和其他振源的共振频率。
6.3.2 对于易产生振动的动力设备及管道应采取隔振、减振措施。
6.3.3 对于靠近振动敏感区的管道应控制管道内介质的流速。
6.3.4 精密设备和仪器的防微振宜采用专用防振基座，其基座平台的基本频率应避开其下支承结构的共振频率和其他振源的共振频率。
条文说明
6.3.1 对于动力设备尽量采用直接驱动或变频驱动的系统。在周围有振动敏感型的设备时，不推荐采用皮带驱动的系统。
6.3.2、6.3.3 管道（特别是大直径管道）内流体的流动引起的管道振动，或者与管道连接的各种泵的振动，不可避免地会通过管道支架传递到建筑结构上。对这种振动如不加以控制，可能引起微振控制达不到预定目标。通常建议风管内的空气流速限定在9m/s以内，管道内的液体流速控制在2.5m/s以内。
6.3.2、6.3.3 管道（特别是大直径管道）内流体的流动引起的管道振动，或者与管道连接的各种泵的振动，不可避免地会通过管道支架传递到建筑结构上。对这种振动如不加以控制，可能引起微振控制达不到预定目标。通常建议风管内的空气流速限定在9m/s以内，管道内的液体流速控制在2.5m/s以内。
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