硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
10.10 化学品
10.10.1 生产厂房内化学品的储存、输送方式，应根据生产工艺所使用化学品用量及其物理化学特性等确定。
10.10.2 生产厂房内使用的各类化学品应按各自的物理化学特性分类和储存，并应符合现行国家标准《化学品分类和危险性公示通则》GB 13690的有关规定。
10.10.3 在洁净区内使用危险化学品的生产设备、化学品储存区（设备），应采取相应的安全保护措施。
10.10.4 洁净厂房内各种化学品储存间（区）的设置，应符合下列规定：
1 易燃易爆化学品储存、分配间应靠外墙布置；
2 危险化学品储存区域（间）和分配区（间），不得设置人员密集房间和疏散走廊的上方、下方或贴邻；
3 各类化学品储存、分配间应设置机械排风。机械排风系统应提供紧急电源；
4 易燃易爆化学品储存间、分配间应采用不发生火花的防静电地面；腐蚀性化学品应采用防腐蚀地面。
10.10.5 当设置集中分配间通过管道输送化学品时，应符合下列规定：
1 输送系统设备、管道的化学稳定性应与所输送的化学品性质相容；
2 分配间以及设备排风应根据化学品的性质分类处理达到国家标准后排至大气；
3 应设置液位监控和自动关闭装置，并应设置溢流应对设施；
4 有机溶剂分配间应设置相应的泄漏浓度报警探头，并应与紧急排风系统连锁；
5 输送易燃、易爆化学品的管道，应设置静电泄放的接地设施，
6 输送易燃、易爆、腐蚀性化学品总管上应设自动和手动切断阀。
10.10.6 危险化学品的储存、分配间，应设置废液收集系统，并应符合下列规定：
1 应按化学品废液成分和性质分类收集；
2 物理化学特性不相容的化学品，不得排入同一种废液收集系统。
10.10.7 液态危险化学品的储存、分配间，应设置溢出保护设施，并应符合下列规定：
1 防护堤形成的有效容积应大于最大储罐的容积；
2 两种化学品混合将引起化学反应时，不同化学品储罐或罐组之间，应设置防护隔堤；
3 应设置液体泄漏报警和废液收集系统。
10.10.8 根据化学品性质在储存间和分配间应设置紧急淋浴器。
10.10.9 管道、阀门设计应符合下列要求：
1 化学品系统管道材质选用，应按所输送的化学品物理化学性质和品质要求确定，应选择化学稳定性能和相容性能良好的材料；
2 化学品输送管路系统，对多台生产设备供应同一种化学品时，应设置分配阀箱，并应设置泄漏检测报警系统；
3 输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质，宜采用低碳不锈钢管；输送酸、碱类和腐蚀性有机溶剂管道材质，宜采用PFA或PTFE管，并应设置防泄漏保护透明PVC套管；用于管道系统的垫片，宜采用与所输送化学品相容的氟橡胶、聚四氟乙烯或其他与所输送化学品相容的材料；
4 阀门和附件的材质应与管道材质一致。
10.10.2 生产厂房内使用的各类化学品应按各自的物理化学特性分类和储存，并应符合现行国家标准《化学品分类和危险性公示通则》GB 13690的有关规定。
10.10.3 在洁净区内使用危险化学品的生产设备、化学品储存区（设备），应采取相应的安全保护措施。
10.10.4 洁净厂房内各种化学品储存间（区）的设置，应符合下列规定：
1 易燃易爆化学品储存、分配间应靠外墙布置；
2 危险化学品储存区域（间）和分配区（间），不得设置人员密集房间和疏散走廊的上方、下方或贴邻；
3 各类化学品储存、分配间应设置机械排风。机械排风系统应提供紧急电源；
4 易燃易爆化学品储存间、分配间应采用不发生火花的防静电地面；腐蚀性化学品应采用防腐蚀地面。
10.10.5 当设置集中分配间通过管道输送化学品时，应符合下列规定：
1 输送系统设备、管道的化学稳定性应与所输送的化学品性质相容；
2 分配间以及设备排风应根据化学品的性质分类处理达到国家标准后排至大气；
3 应设置液位监控和自动关闭装置，并应设置溢流应对设施；
4 有机溶剂分配间应设置相应的泄漏浓度报警探头，并应与紧急排风系统连锁；
5 输送易燃、易爆化学品的管道，应设置静电泄放的接地设施，
6 输送易燃、易爆、腐蚀性化学品总管上应设自动和手动切断阀。
10.10.6 危险化学品的储存、分配间，应设置废液收集系统，并应符合下列规定：
1 应按化学品废液成分和性质分类收集；
2 物理化学特性不相容的化学品，不得排入同一种废液收集系统。
10.10.7 液态危险化学品的储存、分配间，应设置溢出保护设施，并应符合下列规定：
1 防护堤形成的有效容积应大于最大储罐的容积；
2 两种化学品混合将引起化学反应时，不同化学品储罐或罐组之间，应设置防护隔堤；
3 应设置液体泄漏报警和废液收集系统。
10.10.8 根据化学品性质在储存间和分配间应设置紧急淋浴器。
10.10.9 管道、阀门设计应符合下列要求：
1 化学品系统管道材质选用，应按所输送的化学品物理化学性质和品质要求确定，应选择化学稳定性能和相容性能良好的材料；
2 化学品输送管路系统，对多台生产设备供应同一种化学品时，应设置分配阀箱，并应设置泄漏检测报警系统；
3 输送非腐蚀性有机溶剂的管道材质，宜采用低碳不锈钢管；输送酸、碱类和腐蚀性有机溶剂管道材质，宜采用PFA或PTFE管，并应设置防泄漏保护透明PVC套管；用于管道系统的垫片，宜采用与所输送化学品相容的氟橡胶、聚四氟乙烯或其他与所输送化学品相容的材料；
4 阀门和附件的材质应与管道材质一致。
条文说明
10.10.1～10.10.3 硅集成电路芯片工厂的化学品的用量及物理化学特性与其储存及输送方式是相关的，如大宗化学品一般会在独立的建（构）筑物中存放，而硅集成电路芯片工厂的许多化学品往往放置在主生产厂房的一楼靠外墙的位置。考虑化学品的易燃、腐蚀、毒性的特点，为防止化学品使用不当造成的人身与生产事故，条文规定其储存应符合现行国家标准《化学品分类和危险性公示 通则》GB 13690的规定。设计相应的安全保护措施也是为了保护人身安全，一旦发生事故，也可以将事故损失降至最低。
10.10.4 洁净厂房化学品储存间设置的规定既是安全的需要，也是技术的需要。
1 对所有工程上使用的易燃易爆物质在储存、分配间设计的通用规定，都与现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定一致，靠外墙是为了有足够的泄爆面积。
2 规定危险化学品储存区域（间）和分配区（间）不得设置人员密集房间（如办公区等）和疏散走廊的上方、下方或贴邻，是为了化学品一旦发生事故，工厂能将事故对人身的损失降到最低。
3 规定化学品储存、分配间应设置机械排风，机械排风系统应提供紧急电源；这是为了泄漏化学品在室内的聚集事故造成工厂财产损失和人员伤害，是一种防止化学品泄漏措施失灵后的补救措施。
10.10.5 集中分配间通过管道输送化学品时：
1 规定输送系统设备、管道化学稳定性应与所输送的化学品性质相容，是说明化学品输送设备与管道性质应该与化学品的性质相容；
2 本款规定是为了防止泄漏化学品排放不达标造成对环境的破坏；
3 本款规定化学品设备应设置液位监控和自动关闭装置，并应设置溢流应对设施，是为了防止化学品操作失误而酿成事故，保护生产环境和人身安全；
4 本款规定是因为有机溶剂属于易燃易爆物质，其分配间设置相应的泄漏浓度报警探头，并应与紧急排风系统连锁是为了防止事故扩大，保护生命安全与工厂财产；
5 输送易燃、易爆化学品的管道，应设置静电泄放的接地设施，是为了防止易燃易爆化学品产生火灾或爆炸事故，防止腐蚀性化学品泄漏后对地面的损害；
6 本款规定是为了在易燃、易爆、腐蚀性等危险性化学品或工厂其他设备发生事故时，能够将其紧急切断，防止事故扩大化。
10.10.6 危险化学品的储存、分配间应设置废液收集系统是为了将化学品废液集中收集与处置，这既是环境保护的需要，也是生产的需要；物理化学特性不相容的化学品，不得排入同一种废液收集系统，是为了防止不当的化学品收集手段造成事故发生。
10.10.7 液态危险化学品的储存、分配间设置溢出保护设施是考虑安全的需要。
1 本款规定防护堤有效容积大于最大储罐的容积是为了一旦发生泄漏，且补救不及时，也会将化学品控制在其设计的防护堤内，不至于造成事故蔓延；
2 规定两种化学品混合将引起化学反应的不同化学品储罐或罐组之间，应设置防护隔堤，是为了防止不相容化学品泄漏造成次生事故的发生；
3 规定危险化学品储存、分配间应设置液体泄漏报警是为了在化学品泄漏时提醒工作人员及时进行处理、废液收集系统设置是为了将化学品废液集中收集与处理，是环境保护的需要。
10.10.8 化学品的储存间和分配间设置紧急淋浴器是为了在化学品事故伤及工作人员时，能够在现场进行自我救援，赢得宝贵的抢救时间，将事故减少到最小。
具体设置可参考ANSI（American National Standards Institute）Z358.1。
1 紧急淋浴器应位于从危害物操作区步行10s可到达或者小于20m的范围内，或者危害物操作区周围20m的半径之内；
2 紧急淋浴器应和危害物操作区位于同一平面内，两者之间不能通过楼梯或斜面连接；
3 通往紧急淋浴器的通道应保持通畅，尽量没有转弯，不能有障碍物阻挡。
10.10.9 化学品系统管路、阀门材质的选用主要是考虑与其输送介质的良好相容性能。
1 化学品与其接触的管道材料的性能必须是相容的。
2 规定化学品输送管路系统，对多台生产设备供应同一种化学品时，应设置分配阀箱，是为了管理和操作方便；设置泄漏检测报警系统，是安全生产的考虑。
10.10.4 洁净厂房化学品储存间设置的规定既是安全的需要，也是技术的需要。
1 对所有工程上使用的易燃易爆物质在储存、分配间设计的通用规定，都与现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定一致，靠外墙是为了有足够的泄爆面积。
2 规定危险化学品储存区域（间）和分配区（间）不得设置人员密集房间（如办公区等）和疏散走廊的上方、下方或贴邻，是为了化学品一旦发生事故，工厂能将事故对人身的损失降到最低。
3 规定化学品储存、分配间应设置机械排风，机械排风系统应提供紧急电源；这是为了泄漏化学品在室内的聚集事故造成工厂财产损失和人员伤害，是一种防止化学品泄漏措施失灵后的补救措施。
10.10.5 集中分配间通过管道输送化学品时：
1 规定输送系统设备、管道化学稳定性应与所输送的化学品性质相容，是说明化学品输送设备与管道性质应该与化学品的性质相容；
2 本款规定是为了防止泄漏化学品排放不达标造成对环境的破坏；
3 本款规定化学品设备应设置液位监控和自动关闭装置，并应设置溢流应对设施，是为了防止化学品操作失误而酿成事故，保护生产环境和人身安全；
4 本款规定是因为有机溶剂属于易燃易爆物质，其分配间设置相应的泄漏浓度报警探头，并应与紧急排风系统连锁是为了防止事故扩大，保护生命安全与工厂财产；
5 输送易燃、易爆化学品的管道，应设置静电泄放的接地设施，是为了防止易燃易爆化学品产生火灾或爆炸事故，防止腐蚀性化学品泄漏后对地面的损害；
6 本款规定是为了在易燃、易爆、腐蚀性等危险性化学品或工厂其他设备发生事故时，能够将其紧急切断，防止事故扩大化。
10.10.6 危险化学品的储存、分配间应设置废液收集系统是为了将化学品废液集中收集与处置，这既是环境保护的需要，也是生产的需要；物理化学特性不相容的化学品，不得排入同一种废液收集系统，是为了防止不当的化学品收集手段造成事故发生。
10.10.7 液态危险化学品的储存、分配间设置溢出保护设施是考虑安全的需要。
1 本款规定防护堤有效容积大于最大储罐的容积是为了一旦发生泄漏，且补救不及时，也会将化学品控制在其设计的防护堤内，不至于造成事故蔓延；
2 规定两种化学品混合将引起化学反应的不同化学品储罐或罐组之间，应设置防护隔堤，是为了防止不相容化学品泄漏造成次生事故的发生；
3 规定危险化学品储存、分配间应设置液体泄漏报警是为了在化学品泄漏时提醒工作人员及时进行处理、废液收集系统设置是为了将化学品废液集中收集与处理，是环境保护的需要。
10.10.8 化学品的储存间和分配间设置紧急淋浴器是为了在化学品事故伤及工作人员时，能够在现场进行自我救援，赢得宝贵的抢救时间，将事故减少到最小。
具体设置可参考ANSI（American National Standards Institute）Z358.1。
1 紧急淋浴器应位于从危害物操作区步行10s可到达或者小于20m的范围内，或者危害物操作区周围20m的半径之内；
2 紧急淋浴器应和危害物操作区位于同一平面内，两者之间不能通过楼梯或斜面连接；
3 通往紧急淋浴器的通道应保持通畅，尽量没有转弯，不能有障碍物阻挡。
10.10.9 化学品系统管路、阀门材质的选用主要是考虑与其输送介质的良好相容性能。
1 化学品与其接触的管道材料的性能必须是相容的。
2 规定化学品输送管路系统，对多台生产设备供应同一种化学品时，应设置分配阀箱，是为了管理和操作方便；设置泄漏检测报警系统，是安全生产的考虑。
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