2 术语

2.0.1 特种气体 specialty gas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas
也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54°C时可能自燃的易燃气体。

2.0.3 易燃性气体 flammable gas
一种在20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。

2.0.4 剧毒性气体 highly toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m³的气体。

2.0.5 毒性气体 toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)大于100mL/m³但不超过2500mL/m³的气体。

2.0.6 腐蚀性气体 corrosive gas
对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。

2.0.7 氧化性气体 oxidizing gas
一般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。

2.0.8 惰性气体 inert gas
在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

2.0.9 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa 的气体。

2.0.10 特种气体系统 specialty gas system
特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和附件的总称。

2.0.11 大宗硅烷系统 bulk silane system
是指包括ISO标准集装瓶组、长管拖车、钢瓶集装格、Y型卧式钢瓶，或总的水容积超过250L的硅烷系统。

2.0.12 大宗特种气体系统 bulk specialty gas system
一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体储存和送气系统。

2.0.13 液态特种气体系统 liquid specialty gas system
是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。

2.0.14 气体探测系统 gas detector system(GDS)
设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。

2.0.15 气体管理系统 gas management system(GMS）
包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。

2.0.16 生产区 fabrication area
电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发、测试的区域，有些生产过程将使用危险性生产材料，该区域为生产厂房的核心区域。

2.0.17 特种气体间 specialty gas room
电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向生产设备输送特种气体的房间。

2.0.18 特种气体站 specialty gas station
电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、IS0标准集装瓶组、长管拖车、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建(构)筑物。

2.0.19 特种气体站房 specialty gas station and room
是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称。

2.0.20 硅烷站 silane station
是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建(构)筑物或区域。

2.0.21 气瓶集装格the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。

2.0.22 ISO标准集装瓶组 ISO module
采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块。

2.0.23 气瓶柜 gas cabinet(GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。

2.0.24 气瓶架 gas rack(GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。

2.0.25 阀门箱 valve manifold box(VMB）
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

2.0.26 阀门盘 valve manifold panel(VMP)
特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。

2.0.27 尾气处理装置 local scrubber
自燃性、易燃性、剧毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。

2.0.28 卧式气瓶 horizontal cylinder
用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为450L、950L。

2.0.29 限流孔板 restrict flow orifice（RFO)
限定流体系统最大流量的一种装置。

2.0.30 过流开关 excess flow switch(EFS)
流体系统的流量超出设定值时，给出开关信号。

2.0.31 负压气源 sub一atmospheric gas source(SAGS)
1型：在标准温度和压力下，钢瓶内和阀门出口均为负压的气源。

2型：在标准温度和压力下，钢瓶内为正压，阀门出口为负压的气源。

2.0.32 不相容性 incompatible
不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。

2.0.33 吹扫 purge
用氮气或惰性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换的过程。

2.0.34 排气 vent
特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。

2.0.35 气体面板 gas panel
集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件的专用设施。

2.0.36 半致死浓度 lethal concentration 50(LC50)
在空气中使健康的成年大白鼠连续吸入1h，能引起受试白鼠在14d内死亡一半的气体的浓度。

2.0.37 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)
易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。

2.0.38 最高允许浓度值threshold limit value(TLV)

毒性气体在空气中的浓度小于该值时，充分且持续暴露于该环境中的作用人员的健康不会受到损害。

2.0.39 最高允许浓度值一时间加权平均允许浓度 limit value-time weighted average(TLV-TWA)threshold
作业人员按每天8h，每周5d工作制工作，健康不会受到损害的毒性气体时间加权平均浓度。

条文说明

本章所列术语、定义是根据本标准的范围和特种气体的特性以及储存、输送的实际需要进行制定，在制定相关术语时还依据美国消防协会标准《压缩气体及低温流体规范》(ComPressed Gasesand and Cryogenic Fluids Code)NFpA 55-2016版、(建筑建设和安全规范》(Building Construction and Safety Code)NFPA 5000-2018版、美国国家标准学会(ANSD标准《硅烷和硅烷混合物的储存和输送》(Storage and Handling of Silane and Silane Mixture)ANSI/CGA-13-2015版中的有关规定，如本节第2.0.16条“生产区”(fabrication area)是按照NFPA 5000-2018中的3.3.35.5“fabrication area”制定的，该条的内容摘录如下：
3.3.35.5 半导体生产设备及相关研发区域，在该区域内，有些工艺生产需要使用危险性生产材料(HPM)。
如本节第 2.0.2 条“150标准集装瓶组”是按照 ANIS/CG-A13-2015中的3.2.4.1.2“150模块”制定的，该条的内容摘录如下：
3 .2 .4 .1 .2 采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块。150模块的框架及其角件都经过特殊设计，其尺寸适合于集装箱船、高速公路集装箱半挂车和铁路运集装箱的多模运输。
本章的特种气体不包括电子工业中常用的五种大宗气体，即氮气、氢气、氧气、氩气和氦气。

查找上节下节条文
说明返回
顶部

目录导航

笔记需登录后才能查看哦~

去登录