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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 特种气体站房
- 3.1 一般规定
- 3.2 特种气体站房布置
- 3.3 特种气体设备布置
- 4 特种气体工艺系统
- 4.1 一般规定
- 4.2 特种气体输送系统
- 4.3 吹扫和排气系统
- 4.4 硅烷工艺系统
- 5 生命安全系统
- 5.1 特种气体管理系统
- 5.2 特种气体探测系统
- 5.3 其他安全设施
- 5.4 特种气体报警的联动控制
- 6 特种气体管道输送系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 材料选型
- 6.3 管道设计
- 6.4 管道标识
- 7 建筑结构
- 7.1 一般规定
- 7.2 建筑防火
- 7.3 建筑构造措施
- 8 电气与防雷
- 8.1 配电与照明
- 8.2 防雷与接地
- 9 公用工程
- 9.1 给水排水
- 9.2 消防
- 9.3 采暖通风与空气调节
- 10 特种气体系统工程施工
- 10.1 一般规定
- 10.2 主要设备、材料进场验收
- 10.3 气瓶柜与气瓶架的安装
- 10.4 阀门箱与阀门盘的安装
- 10.5 尾气处理装置及纯化器的安装
- 10.6 特种气体管道安装
- 10.7 特种气体管道改扩建工程施工
- 11 特种气体系统工程验收
- 11.1 一般规定
- 11.2 设备验收
- 11.3 管路与系统验收
- 11.4 气体探测(监控)系统验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体）
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
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