11.3 管路与系统验收

11.3.1 本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等做出的规定。其中，管件的安装位置和方向应符合设计文件要求。弯头的城制和焊缝的验收应符合本标准中相关章节的规定。
11.3.3 本条规定的特种气体管道安装完后需进行5项测试，包括：
    (1) 压力试验，包括强度试验和气密性试验或泄漏量试验。由于此类管道大都输送具有一定纯度的各种特种气体，为避免污染和吹净水分的复杂过程，所以规定不能采用水压试验，一般采用高纯氮气或高纯氢气进行气压试验。压力试验前管道及附件不应进行绝热保温作业，管道各路出口应用阀门、堵头或其他措施隔离。在进行气压试验前应确认完成管道吹扫。管道强度试验压力应为系统设计压力的1.15倍，时间应保持30min。气压试验时，应逐步缓慢增加压力，当压力升至试验压力的50%时，如未发现异状或泄漏，应继续按试验压力的10%逐级升压，每级稳压3min，直至试验压力。管道气密性试验压力应为系统设计压力的1.05倍，时间应保持24h。为避免昼夜温度变化和长时间试验时的压力波动，所以应记录整个试验过程的温度、压力变化，并对记录值进行温度、压力修正后压降值不得超过1%。压力试验的压力修正公式如下：

    压力试验合格后，将压力降低到0.5bar左右，保证管道内为正压并提交测试报告，格式可参考表6的规定。

表6 压力测试记录表

    (2) 氦检漏试验。由于特种气体有易燃性，有毒，腐蚀性 、氧化性、窒息性等特性，这些气体在生产作业过程中一旦发生泄漏将会引发作火、中毒、腐蚀和损害作业人员健康等事故。为防止泄漏，特种气体管道在进行气密性试验或泄漏性试验后还应进行氦检漏试验，以便严格检查控制管道系统可能出现的泄漏点，确保管道施工质量。特种气体氦检漏测试要求应符合本标准附录A的规定；测试完毕后，应提交测试报告，格式见表7。

表7 氦检漏测试记录表

    (3) 颗粒、水、氧测试。为了确保特种气体管道投人运行后，不会因为管道内存在污染物或管道内壁吸附的污染物质逐渐释放或管道附件、阀门花簇渗漏污染物，影响输送的特种气体受到污染，达不到产品生产所要求的纯度，为此，应在特种气体进行氦检漏试验合格后进行纯度试验。根据所输送的特种气体种类和物理化学性质的不同采用不同的试验气体，包括颗粒测试、水分测试、氧分测试的纯度测试或纯度试验均采用增重法进行评价，即从被测试特种气体管道的测试气体引入端获取引入的测试气体的颗粒、水分、氧分含量，同被测试管道排出口的测试气体的相关杂质含量进行比较，若增量值未超过规定值，判断为验收合格。纯度测试用仪器应根据增量规定值的要求选用相应检测精度的分析仪器。
    颗粒度分析主要是检查高纯气体系统中各种尺寸超细颗粒的数量，也是系统纯度检查和纯度保证的一种方式，它对于辅助吹扫气源的颗粒度有严格的要求，一般要求0.1µm-0.5µm的颗粒数量为零，辅助吹扫气体的雷诺数应大于10000，表8是各种尺寸管道颗粒检查对于吹扫气体流量及雷诺数的推荐要求：

表8 管道吹扫气体流量

    气体系统颗粒计数仪器大都采用激光式的计数仪器 ，激光颗粒计数仪主要应用光散射和分子布朗运动的基本物理性质制成，激光具有很好的单色性和极强的方向性，所以在没有阻碍的无限空间中激光将会照射到无穷远的地方，并且在传播过程中很少有发散的现象。
    特种气体系统颗粒测试合格的参考标准：
    1） 大规模集成电路行业管道系统测试气体中大于0.1µm的颗粒数宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续5次达标为合格；
    2） 平板显示行业管道系统测试气体中大于0.1µm的颗粒数宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续3次达标为合格；
    3） 太阳能电池行业管道系统测试气体中大于0.3µm的颗粒数宜小于或等于1颗/标准立方英尺；连续3次达标为合格。
    4） 颗粒测试完毕后，应提交测试报告，格式见表9。

表9 颗粒测试记录表

    (4) 水分测试。为保证高纯气体系统的水分含量及系统的纯度，需要进行水分分析。一般情况下，直接阅读水分分析仪的显示数值。水分分析仪器有很多种，它的测量方式主要有电化学测量法和光学绝对测量法。
    特种气体系统的水分测试应符合下列要求：
    1）特种气体系统水分测试时，气体速度应低于设计流速的10%，且小于3m/s。
    2）测试气源的水分应小于10ppbv。
    3）水分测试合格参考标准：
    ① 大规模集成电路行业管道系统测试气体水分增量宜小于10ppbv；
    ② 平板显示行业管道系统测试气体水分增量宜小于10ppbv；
    ③ 太阳能电池行业管道系统测试气体水分增量宜小于20ppbv。
    4）测试结束后，应至少保持20min稳定 在规定值以下为合格。
    5）水分测试完毕后，应提交测试报告，格式见表10。

表10 水分测试记录表

     (5) 氧分分析。氧分分析的目的和水分分析一样，也 是 检查气体系统纯度的一种方式，一般情况下，直接阅读氧分分析仪的显示数值，电子行业所用的氧分分析仪器主要为电化学分析仪器。
    特种气体系统的氧分测试应符合下列要求：
    1）特种气体系统氧分测试 时，气体速度低于设计流速的10%，且小于3m/s；
    2） 测试气源的氧分应小于10ppbv；
    3）氧分测试合格的参考标准：
    ① 大规模集成电路行业管道系统测试气体氧分增量宜小于10ppbv；
    ② 平板显示行业管道系统测试气体氧分增量宜小于10ppbv；
    ③ 太阳能电池行业管道系统测试气体氧分 增量宜小于20ppbv。
    4） 测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为合格。
    5） 氧分测试完毕后，应提交测试报告，格式见表11。

表11 氧分测试记录表