7.1 通风、空调与净化

7.1.1 工艺排风系统应按工艺设备排风污染物性质分类独立设置。

7.1.2 涂覆区和清洗区的工艺排风系统应设置有效处理设施，污染物排放应符合国家及地方的环保排放要求。

7.1.3 空气调节与空气净化系统应根据工艺生产要求划分。

7.1.4 洁净区与周围环境宜保持5Pa相对正压值。

7.1.5 冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择，并应保证设备在峰谷负荷工况下均能安全运行。

7.1.6 同时供冷和供热工况下，宜选用热回收冷水机组供冷。

7.1.7 冬季或过渡季节供水温度满足使用要求时，冷源可利用冷却塔。

条文说明

7.1.1 微波集成组件生产厂房在生产过程中涉及粉尘、热排风、酸性排风，不同性质排风混合后可能产生粉尘聚集、腐蚀等问题，因此，要按照工艺排风污染物性质不同分别设置排风系统。

7.1.2 微波集成组件生产厂房含有粉尘、电镀排风中包有有害物质，因此，要通过工艺排风管道收集，经过除尘设备、湿式洗涤塔处理，降低其中污染物浓度和排放量，减少对大气环境的影响。

7.1.3 由于微波集成组件生产工艺包括了多个不同生产工序，各工序对生产环境的洁净度等级、温度、相对湿度要求不同，因此，根据生产工艺要求划分空气调节与空气净化系统。

7.1.4 为使洁净室在正常运行或空气平衡暂时受到破坏时，气流始终从空气洁净度等级高的区域流向空气洁净度等级低的区域，保证洁净室的洁净度不受到影响，因此规定了不同洁净度等级的洁净区域之间要保持一定正压。

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