4.3 光学加工及检测设备

4.3.1 光栅刻线和光学加工设备在时域范围内的容许振动值，宜按表4.3.1的规定确定。

4.3.2 光学检测设备在频域范围内的容许振动值，宜按表4.3.2的规定确定。

注：当频率重叠时，应同时满足两个频率区间上的容许振动要求。

条文说明

4.3.1 光栅刻线机、全息曝光机、镀膜机、环抛机均为光学加工的典型设备。光栅刻线设备的工艺有其特殊性，在防止外界振动对刻划有影响的情况下，其自身的内部设备要产生振动，振动的幅值现在无法准确定量，表4.3.1中的振动标准应为静态时的控制标准。

4.3.2 光学检测设备在频域范围内的容许振动值是长期工程实测资料的经验总结，特别是近年来发展很快的空间光学部件检测和整机检测实测资料经验总结。空间光学设备的检测，一般光路长度达到十几米甚至几十米，分成水平检测和垂直检测两种，水平检测的基础一般细长，测点需沿长度方向均匀布置，并不少于3个，以保证测试结果的代表性和可靠性。

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