D.1 风量和风速的检测

D.1.1 风速检测仪器宜采用热风速仪、三维或等效三维超声风速仪、叶轮风速仪。风量检测仪器可采用带流量计的风量罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
D.1.2 单向流洁净室系统的系统总风量、室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列规定：
    1 单向流洁净室室内风速的测试，其测试平面应为垂直于送风气流，距离高效空气过滤器出风面300mm处，测试平面应分成若干面积相等的栅格，栅格数量不应少于被测试截面面积(m²)10倍的平方根数，测点应取在每个栅格的中心，全部测点不应少于5点。
    直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面应为150mm，测试面应划分为面积相等边长不大于600mm×600mm的格栅，测点应取在每个栅格的中心。
    每一风速测点持续测试的有效时间不应少于10s，并应记录最大值、最小值和平均值。
    单向流洁净室(区)的总送风量应按下式计算：

    式中：V_cp——每个栅格的平均风速(m/s)；
                  A——每个栅格的面积(m²)。
    2 单向流洁净室气流风速分布的测试，应由建设方、测试方共同协商确定，且宜在空态下进行。风速分布测试应取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(㎡)10倍的平方根数，测点应取在每个栅格的中心。
    风速分布的不均匀度β0应按下式计算，其数值不应大于0.25。

    式中：v——各测点风速的平均值；
              s——标准差。
    当洁净室内安装好工艺设备和工作台后，若还需进行风速分布测试时，其测试的实施要求、合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方、测试方共同协商确定。
D.1.3 洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定：
    1 安装有高效过滤器风口风量的测试，应根据风口形状采用加接辅助风管的方法。辅助风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成，形状及内截面应与风口相同，长度不应小于2倍风口长边长的直管段，并应连接于风口外部。应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速和风量，并应按附录E.2的规定执行。
    2 当风口上风侧有2倍风管长边长度的直管段，且已有预留测孔或可以设置测点时，风量宜采用风管法测试，并应按附录E.2的规定执行。
    3 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量，测量时风罩的开口应全部罩住被测风口，不应有泄漏。
    4 风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量该处的风口风量。