4.2 洁净室（区）环境监控设计

    对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境，悬浮分子污染物（Airborne Molecular Contaminants，AMC）的控制越来越重要。国际半导体设备与材料协会（Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI）的标准根据化学品的特性，将洁净室中的空气污染物分为酸（Molecular Acids，MA）、碱（Molecular Bases，MB）、可凝聚物（Molecular Condensables，MC）和掺杂物（Molecular Dopants，MD）。

4.2.2 系统合用便于统一管理，保证数据传输的可靠、及时；如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠、及时。

4.2.3 在同一栋生产厂房内，工艺段对洁净环境的温度、湿度、压力要求不同，但控制系统共用时，控制系统的选择应满足最严格的要求。

4.2.6 个别生产工艺段有化学沉积现象，化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度，严重的会使传感器失去功能，因此，要采取适当的防护措施。