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1 总则
1.0.1 为了规范电子工业纯水系统安装工程的施工管理,统一工程施工质量的验收,保证工程质量,制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、改建、扩建的电子工业纯水系统的安装及验收。
1.0.3 纯水系统施工应按经批准的施工图、相关的技术标准及合同约定的技术内容进行,施工图修改应有设计单位的设计变更通知书或技术核定签证。
1.0.4 纯水系统工程安装及验收除应符合本规范的规定外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
1.0.1 本条阐明了制定本规范的目的。随着电子、液晶显示器、太阳能等行业的发展,其生产工艺中对于清洗用水及配制各种溶液用水的水质提出了更高的要求,而微电子行业约有80%的工序需要用超纯水做清洗,水质的好坏与集成电路产品的质量及成品率的高低有着很大的关系,集成电路产业发展到超大规模集成电路阶段时,水质更成为提高集成度的主要因素。为规范电子工业纯水系统安装工程的施工管理,统一工程施工质量的验收,保证工程质量,制定本规范。
1.0.2 本条明确了本规范的适应范围。本规范的适应范围是电子工业纯水系统的安装及验收,它是以微电子、液晶显示器、太阳能等行业的各类纯水系统安装的实践经验为基础制定的,电子工业其他行业的纯水系统的安装及验收可参照本规范执行。
同时,近年来作为节水措施发展起来的纯水回收系统,也是收集生产工艺及水处理单元的优质排水,再采用部分合适的处理装置处理后,作为纯水系统的一部分原水再加以利用,此类回收系统也作为电子工业纯水系统的一部分包含在本规范内。
1.0.3 本条强调了纯水系统的施工及变更应执行、遵照的原则,明确了责任的主体。工程施工是让设计意图变为实物,但施工现场的情况复杂,施工图纸可能存在与现场实际不相符的情况,需要修改图纸,要修改图纸应有设计单位的正式变更手续,这是工程质量的重要保证。
1.0.4 电子工业纯水系统工程安装及验收,涉及的设备、专业的工程技术较多,国家现行标准已有规定的应执行相关标准的规定,本规范不再重复,本规范只对电子工业纯水系统工程安装及验收的特殊要求作出了新的规定,因此本条文明确了除应执行本规范的规定外,尚应符合国家现行的有关标准、规范的规定。这里所述的国家现行有关标准是指现行的国家标准和行业标准中的标准、规范、规程的统称。
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- 2.1 术语
- 2.2 缩略语
- 3 设备安装
- 3.1 一般规定
- 3.2 非金属设备安装
- 3.3 碳钢设备安装
- 3.4 不锈钢设备安装
- 3.5 泵及风机安装
- 3.6 组装式设备安装
- 3.7 其他设备安装
- 4 配管工程
- 4.1 一般规定
- 4.2 共用管架安装
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- 4.5 PP管道安装
- 4.6 PVC管道安装
- 4.7 Cl-PVC管道安装
- 4.8 PVDF管道安装
- 5 电气工程
- 5.1 一般规定
- 5.2 电气桥架及配管配线
- 5.3 电气设备安装
- 5.4 仪表安装
- 6 系统调试及测试
- 6.1 一般规定
- 6.2 系统调试
- 6.3 系统测试
- 7 工程验收
- 7.1 一般规定
- 7.2 竣工验收
- 7.3 综合性能验收
- 附录A 纯水系统主要测试项目
- 附录B 纯水系统主要指标测试方法
- B.1 电阻率
- B.2 二氧化硅
- B.3 颗粒度
- B.4 细菌
- B.5 总有机碳(TOC)
- B.6 溶解氧(DO)
- B.7 金属离子
- B.8 阴离子
- B.9 淤塞指数(SDI15)
- B.10 余氯
- B.11 硬度
- B.12 酸碱度(pH值)
- 附录C 工程质量验收记录用表
- C.1 施工检验记录用表
- C.2 施工质量检验批质量验收记录用表
- C.3 分项工程质量验收记录用表
- C.4 系统运行测试报告
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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