2.1 术语

    制备电子工业生产所需的纯水、超纯水，由制备设备、管路、电气及相应仪表等组成的系统的总称。

2.1.2  多介质过滤器  multi media filter

    在一定的压力作用下，使水通过设备内充填的多层介质，通过介质间的孔隙截留水中的悬浮、絮凝物等杂质的装置。

2.1.3  活性炭过滤器  active carbon filter

    活性炭过滤器属于压力式过滤设备，内填比表面积较大、具有物理吸附和化学吸附功能的活性炭，通过利用其综合的吸附作用，去除水中的有机物、余氯、色度和异味等的装置。

2.1.4  反渗透装置  reverse osmosis unit

    在外加压力作用下，利用一种半透性薄膜使水分子和其他一些物质从高浓度侧向低浓度侧选择性透过，从而将绝大部分溶解固形物（盐）、有机物、胶体及颗粒等截留去除的膜及组件组成的设备。

2.1.5  电脱盐装置  electrodeionazation

    利用电场作用，使得水中的阴、阳离子定向迁移并选择性地通过阴离子交换膜及阳离子交换膜，在阴、阳离子交换膜之间分别形成纯水、浓水隔室，同时利用电解水产生的氢离子与氢氧根离子不断的再生失效的工作层树脂，从而连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置的统称。

2.1.6  混床  mixed bed

    混床也称混合离子交换塔，是把阴、阳离子交换树脂按一定的比例混合装填在同一设备内，对水中的各种阴、阳离子进行交换、脱除，从而达到制取高纯度的纯水的装置。

2.1.7  紫外线杀菌装置  ultraviolet sterilization

    利用波长254nm的紫外线照射，杀灭水中的活菌的装置。

2.1.8  紫外线除总有机碳装置  ultraviolet TOC removal

    利用波长185nm的紫外线照射，降解水中的总有机碳（TOC）的装置。

2.1.9  膜脱气装置  membrane degasifier

    利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置。

2.1.10  超滤  ultrafiltration

    指在外压作用下，利用非对称性膜去除水中相对分子量6000至500000的高分子物质或胶体的膜分离装置。

2.1.11  电阻率  resistivity

    截面积为1cm2，长度为1cm的水柱，在25℃时的电阻值，常用的电阻率单位为MΩ·cm。水的纯度越高，电阻率越大。

2.1.12  颗粒度  particle

    单位体积水中，大于或等于某粒径的颗粒的个数。

2.1.13  总有机碳  TOC total organic carbon

    水中的有机物质的含量，以有机物中的主要元素——碳的量来表示。

2.1.14  余氯  residual chlorine

    指水与氯族消毒剂接触一定时间后，余留在水中的氯。

2.1.15  淤塞指数  silt density index

    在标准压力和标准时间周期内，一定体积水样通过一特定微孔膜滤器的阻塞率。通常采用的测算周期为15min，其对应所测得的淤塞指数称为SDI15。