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8 防静电安全工作台的设计选择
8.0.1 防静电安全工作台可用于制造和应用静电敏感元器件的场所。静电敏感元器件、组件及设备的操作,应在防静电安全工作台上进行。
一、二级防静电工作区及有明确防静电要求的台式精密电子设备的三级防静电工作区,应根据工艺要求配置防静电安全工作台。
防静电分级为一级的微电子制造和测试场所,防静电安全工作台应使用硬质台垫及无表面涂覆的难氧化金属台架;除微电子电路制造和测试以外的电子产品或整机产品的生产或调试场所的防静电安全工作台,其台面可采用软质台垫,台架可采用木质或金属。
8.0.2 防静电安全工作台应由工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线组成。
8.0.3 防静电安全工作台按台面基材可分为普通型和专用型。专用型防静电安全工作台宜用于洁净室工作站。防静电安全工作台台面的防静电性能指标应符合本规范第3.2.1条的规定。
8.0.4 硬质和软质防静电台垫,其表面电阻和体积电阻范围应为2.5×104Ω~1.0×109Ω。
8.0.5 防静电安全工作台应设置腕带连接装置,防静电腕带应便于人体佩戴,并应接地。腕带连接装置应布置在工位的左、右两侧。
8.0.6 防静电安全工作台应接地,腕带连接装置的下端应采用截面积不小于1.5mm²多股塑铜线与防静电接地系统连接。多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接。
一、二级防静电工作区及有明确防静电要求的台式精密电子设备的三级防静电工作区,应根据工艺要求配置防静电安全工作台。
防静电分级为一级的微电子制造和测试场所,防静电安全工作台应使用硬质台垫及无表面涂覆的难氧化金属台架;除微电子电路制造和测试以外的电子产品或整机产品的生产或调试场所的防静电安全工作台,其台面可采用软质台垫,台架可采用木质或金属。
8.0.2 防静电安全工作台应由工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线组成。
8.0.3 防静电安全工作台按台面基材可分为普通型和专用型。专用型防静电安全工作台宜用于洁净室工作站。防静电安全工作台台面的防静电性能指标应符合本规范第3.2.1条的规定。
8.0.4 硬质和软质防静电台垫,其表面电阻和体积电阻范围应为2.5×104Ω~1.0×109Ω。
8.0.5 防静电安全工作台应设置腕带连接装置,防静电腕带应便于人体佩戴,并应接地。腕带连接装置应布置在工位的左、右两侧。
8.0.6 防静电安全工作台应接地,腕带连接装置的下端应采用截面积不小于1.5mm²多股塑铜线与防静电接地系统连接。多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接。
条文说明
8.0.1 防静电安全工作台是防静电工作区配设的一种专用工作台,具有特殊的防静电功能,在这种工作台上可以安全操作各类静电敏感元器件和电子仪器设备,可以防止因静电放电、静电感应或静电吸附造成的危害。本条及以下各条结合国内实际应用的情况并参考国外静电放电(ESD)控制工作站相关标准制定了一些基本规定。本条规定了不同等级防静电工作区,防静电安全工作台的选用原则。
8.0.2 腕带连接装置、限流电阻和接地引线是防静电安全工作台特有的组成部分。腕带连接装置是专为提供接插防静电腕带使用的。限流电阻是为了保障人体安全而设置的,使通过人体的安全电流不大于5mA。接地引线是为了防静电安全工作台接地而配置的。防静电安全工作台形式各异,附设构件多种多样,但有五个必备部分:工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线。
8.0.3 普通型防静电安全工作台台面基材由木质或其他无机材料制作,台面可贴有饰面板;专用型防静电安全工作台台面基材由无表面涂覆的难氧化金属或导电无机材料复合面板制作,使用时再在台面上铺设防静电台垫。防静电安全工作台甲醛和苯的释放量应符合有关标准的规定。本条提出洁净室内防静电安全工作台基材要求主要是为了满足对发尘量及防静电性能稳定的控制目标。
8.0.4 硬质台垫主要应用于一级防静电工作区,但其表面电阻或体积电阻应为2.5×104Ω~1.0×109Ω。硬质台垫的邵氏D硬度应大于90,软质台垫的邵氏A硬度范围为45~85。
8.0.5 腕带连接装置是提供人体佩戴的防静电腕带接地的必要设施。本条从人体工程的角度提出安装位置的要求。
目前有带纽扣式限流电阻的防静电腕带产品,因此本规范对限流电阻的安装位置不作要求。但限流电阻不论何种情况,都应视为防静电安全工作台的必要构成。
8.0.6 多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接的规定是为了确保每个工位的接地可靠。
8.0.2 腕带连接装置、限流电阻和接地引线是防静电安全工作台特有的组成部分。腕带连接装置是专为提供接插防静电腕带使用的。限流电阻是为了保障人体安全而设置的,使通过人体的安全电流不大于5mA。接地引线是为了防静电安全工作台接地而配置的。防静电安全工作台形式各异,附设构件多种多样,但有五个必备部分:工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线。
8.0.3 普通型防静电安全工作台台面基材由木质或其他无机材料制作,台面可贴有饰面板;专用型防静电安全工作台台面基材由无表面涂覆的难氧化金属或导电无机材料复合面板制作,使用时再在台面上铺设防静电台垫。防静电安全工作台甲醛和苯的释放量应符合有关标准的规定。本条提出洁净室内防静电安全工作台基材要求主要是为了满足对发尘量及防静电性能稳定的控制目标。
8.0.4 硬质台垫主要应用于一级防静电工作区,但其表面电阻或体积电阻应为2.5×104Ω~1.0×109Ω。硬质台垫的邵氏D硬度应大于90,软质台垫的邵氏A硬度范围为45~85。
8.0.5 腕带连接装置是提供人体佩戴的防静电腕带接地的必要设施。本条从人体工程的角度提出安装位置的要求。
目前有带纽扣式限流电阻的防静电腕带产品,因此本规范对限流电阻的安装位置不作要求。但限流电阻不论何种情况,都应视为防静电安全工作台的必要构成。
8.0.6 多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接的规定是为了确保每个工位的接地可靠。
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