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9 离子化静电消除器的设计选择


9.0.1 一、二级防静电工作区配置的设备机台局部,以及防静电安全工作台等对静电敏感元器件有明确防护要求的场所,应选用离子化静电消除器。
9.0.2 离子化静电消除器的设计选择应根据现场条件和消除静电的控制目标,并结合静电消除器的消电效能和综合性能确定。
9.0.3 离子化静电消除器的离子平衡度、消电时间、臭氧发生量、噪声等技术指标应符合国家现行有关产品标准的规定。
9.0.4 离子化静电消除器的设计选择应符合下列规定:
    1 气流组织形式为单向流的洁净空调系统,宜选择脉冲式高压静电消除器。
    2 易燃、易爆环境应选用自感应式静电消除器、高频高压型静电消除器,以及具有防爆通风型结构的离子化静电消除器。
    3 空气洁净度等级5级以上的洁净环境,不宜使用有风扇的离子化静电消除器,其他洁净环境的风扇式离子化静电消除器应具有自清扫功能。
    4 选用同位素静电消除器时,应按现行国家标准《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》GB 18871的有关规定进行防护设计,并应符合对射线屏蔽、人体防护的要求。
    5 选用高频高压型静电消除器时,电气间隙和基本绝缘试验电压等限值应符合现行国家标准《测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第一部分:通用要求》GB 4793.1的有关规定,场感应电流和磁场强度限值应符合现行国家标准《工业、科学和医疗(ISM)射频设备 电磁骚扰特性 限值和测量方法》GB 4824的有关规定。
    6 选用离子化静电消除器时,臭氧发生量的容许浓度值应符合国家现行有关工业场所有害因素职业接触限值的规定。
9.0.5 离子化静电消除器外壳应采用金属材质,其外壳及金属支承体应有可靠的保护接地。

条文说明
9.0.1 电子工业生产过程,无时无刻不在产生和积聚静电,即便本规范其他各章的设计做得很好,防静电工作区某些部位仍然会形成超过规定限值的静电电位。因此,应用离子化静电消除器来中和局部表面和空气中的静电电荷是行之有效的手段。
9.0.2 离子化静电消除器种类繁多,其作用原理、产品形式、消电效能、环境要求以及价格千差万别。
    离子化静电消除器按空气离子化原理可分为自感应式、高压式、同位素式、光电子式等数种。
    1 自感应式静电消除器不需外加电源,结构简单,容易安装,宜用于空间狭窄的场所,但消电效果弱。
    2 高压式离子化静电消除器分工频高压、高频高压、脉冲高压、直流高压多种型式。
    1)工频高压型发射密度高,一致性好,但消电效果较弱。
    2)高频高压型通过电容较方便地实现间接耦合的电晕放电,针电极的短路电流小,防爆性能好。
    3)脉冲高压型对气流配合的要求低,一致性好,适用于室内环境上空的全离子保护,也可应用于离子喷枪、离子风淋、离子净化工作台等设备的配套。
    4)直流高压型适用于要求加大消电作用距离的场合,但应配有电源输出电压升降和极性变化的可控装置。
    3 同位素式离子化静电消除器不需外加电源,结构简单,维护方便。设计应根据同位素的放射强度和半衰期,以及射线的电离能力和穿透能力选择。
    4 光电子式离子化静电消除器消电效果好,宜用于某些要求高的场所。
    离子化静电消除器由高压电源、电晕放电器和通风系统三部分组成。设计应考虑电源、风源和电晕放电器的合理配置。
    离子化静电消除器还可按结构形式分类,有台座式离子风机、管式离子风嘴、箱柜式离子风机、离子风枪、静电离子棒等。
    按适用场所分类,有机内层流罩式、洁净室式、空调房间式、工作台面式、压缩气体式等。
    按组合布置分类,有针、细棒、网格(格栅)、发射体、离子风等。
    所以设计应根据不同场所,不同工艺要求,综合采用不同型式的离子化消电手段,并应考虑离子化静电消除器本身产生的电晕放电、放电腐蚀、静电屏蔽等问题,以及由此产生的尘埃、臭氧、放射线、噪声等环境问题,尽可能避免离子化静电消除器的负面影响,从而达到较好的消电效能和综合性能。
9.0.3 目前未见有完整的离子化静电消除器产品的国家或行业标准,只有各种国际、国外及我国相关标准对离子平衡度、消电时间、臭氧发生量、噪声的要求参数,提供如下,以便使用者参考:
    离子平衡度(亦称空间残留电压,指放置于离子化环境中的绝缘导电板,用充电金属板监测仪观测到的残留电压):应用于房间系统,电压绝对值偏移小于150V;应用于非房间系统,电压绝对值偏移小于50V。
    消电时间(指空气相对湿度60%的情况下,绝缘金属板的电压绝对值从1000V降至100V的时间)(见表2)。
    臭氧发生量:不大于0.3mg/m³。
    噪声:不大于55dB(A)。
9.0.4 本条规定了离子化静电消除器设计选择应符合的规定。其中第2款和第4款因涉及人身安全及环保等要求,规定为强制性条款。
    参考国外有关标准,推荐下列不同布置形式的离子化静电消除器适宜使用的场所(表3)。
9.0.5 为降低使用离子化静电消除器的负面影响,净化防静电环境,其外壳及金属支承体可靠接地是必要的措施。

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电子工程防静电设计规范 GB50611-2010
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