5.1 一般规定

5.1.1  电子工业尤其是作为当今明星产业的电子高科技产业，如芯片制造、芯片封装、TFT-LCD和LED等产业，在工艺生产过程中均需大量使用超纯水作为清洗用水。中国水资源短缺，淡水资源总量约每年26200亿m3，人均占有量为每年2392m3，为世界人均占有量的1/4，名列第110位。由于各地区处于不同的水文带及受季风气候影响，水资源与土地、矿产资源分布和工业用水结构不相适应。水污染严重，水质型缺水更加剧了水资源的短缺。高速扩张的产能和日益匮乏的水资源的尖锐对立，使得电子高科技产业的用水形态发生着深刻的变化，如何合理的制水、用水，怎样综合利用水资源以应对当前电子高科技产业所面临的用水挑战，是科学研究和工程设计都无法回避的重要课题。

    在用水量最大的电子工业如芯片制造和TFT-LCD产业，通常企业用水分为工艺系统用水、动力系统用水和生活用水3大类。其中，工艺用水和动力系统用水又占了绝大部分。以一个8英寸芯片制造工厂为例，工艺系统用水约占整个全厂用水量的70％，而动力系统用水量约占全厂用水量的23％，而生活用水量仅占全厂用水量的7％。由此可见，如何做到工艺系统用水和动力系统用水的节约高效使用是这类工厂节水的两大努力方向。

    电子工厂要达到高效用水通常采取两种途径：循环使用和回收利用。循环使用通常在生产工艺设备的设计制造过程中加以考虑，而回收利用则是水系统工程师必须要考虑的问题。如何保证不同水质和水量的用后纯水的有效回收和利用，就离不开对全厂用水系统的水量平衡。水量平衡是指在一个确定的用水系统内，输入水量之和等于输出水量之和。电子工业企业的水量平衡是以电子工业企业为主要的考核对象，通过对各用水系统的用水水质和消耗水量的分析，根据水量的平衡关系分析用水的合理程度。

    由此本条强调通过详细的水量平衡以实现合理高效用水，以达到全厂的高水回用率，而非简单的工艺用水系统的高回用率。

5.1.2  在调查过程中发现，很多改建、扩建的工程，其现有的水处理工艺和设备中仍有不少值得改进之处，如多介质过滤器、活性炭过滤器末段反洗水回用，在线仪表分析测试用水的回收等，因此特作此原则性规定。

5.1.3  随着国民经济的发展和城市生活水平的提高，我国很多地区特别在北方和某些沿海城市发生水资源短缺和污染问题。水资源的本身不足和水源的污染已成为我国国民经济发展的一个制约因素。因此很多地方实行水资源的统一规划与管理，把用水问题，特别是将节水工作纳入社会经济发展规划，建立与健全相应的规章制度，认真贯彻开源节流并重方针，加强节水的科学管理，这些地方的节水措施相比国家要求更严格，因此在这些地方和区域建设的项目应该要同时满足当地的更严格的节水措施。