9.3 空气调节与净化

9.3.2  厂房内的车间或区域符合下列情况之一时，空气调节系统宜分开设置：

    1  对温度、湿度控制要求差别大的房间；

    2  净化空调系统与一般空调系统；

    3  容易产生交叉污染的区域或房间；

    4  工艺设备发热量相差悬殊的不同房间。

9.3.3  厂房内洁净室(区)与周围环境应维持一定的压差。不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa；洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa；洁净室(区)与室外的静压差不应小于10Pa。

9.3.4  生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：

    1  补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和；

    2  供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3；供给非洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3。

9.3.5  空调系统的送风、回风和排风系统的启闭连锁、控制要求，应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定。

9.3.6  满足空气洁净度等级的洁净室送风量(静态)和气流流型宜按表9.3.6计算。

表9.3.6  洁净室送风量(静态)和气流流型

    注：1  换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室。

        2  室内人员少、热源少时，宜采用下限值。

9.3.7  单向流和混合流洁净室的噪声级(空态)不应大于65dB(A)，非单向流洁净室的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。

9.3.8  洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等。

9.3.9  电镀、沉铜、棕化、表面处理、蚀刻、清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统，岗位送风系统宜经过过滤、冷却、加热等处理，送风温度宜保持在16℃～28℃。

9.3.10  空气过滤器的选用、布置应符合下列要求：

    1  空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器；

    2  空气过滤器处理风量不应大于额定风量；

    3  中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段；

    4  亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端；

    5  同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力、效率、使用风量与额定风量之比值应相近。

9.3.11  风机过滤器机组的设置应符合下列要求：

    1  应根据空气洁净度等级和送风量选用；

    2  送风量应能调节；

    3  应便于安装、维修及过滤器更换。

9.3.12  干冷却盘管的设置应符合下列要求：

    1  迎面风速不宜超过2.5m/s；

    2  空气侧阻力不应大于40Pa；

    3  布置在同一洁净室(区)内的干冷却盘管，在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10％；

    4  冷冻水的供水温度应高于洁净室(区)内的露点温度；

    5  应设置排水系统。

9.3.13  净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置，并应与风机连锁。

9.3.14  空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应联锁控制，并应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时，应设置无水、无风断电保护装置。寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。