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5.2 精密仪器及设备


5.2.1 设有精密仪器和设备的厂房或实验室,其建设场地应进行环境振动评价;精密仪器和设备的布置应远离振源,并应采取以下防振措施:
    1 降低建筑物地基基础和结构的振动;
    2 振源设备的主动隔振;
    3 精密仪器的被动隔振。
5.2.2 精密仪器及设备的隔振计算应包括下列内容:
    1 隔振体系固有频率;
    2 在支承结构干扰振动位移作用下,隔振体系振动响应;
    3 隔振体系受精密设备内部振源影响的振动响应;
    4 本条第2款和第3款计算结果叠加的振动值,满足精密仪器及设备容许振动值的要求。
5.2.3 精密设备的台座结构,可采用钢筋混凝土台座、型钢混凝土台座、钢台座或钢架台座;在下列情况下,精密设备应设置台座结构:
    1 设备由若干个分离部分组成,需要将各部分连成整体时;
    2 设备采用直接弹性支承,需要设置台座结构满足设备的刚度要求时。
5.2.4 当采用商品隔振台座时,应根据隔振台座的特性参数,验算支承结构在干扰振动作用下隔振体系的振动响应,并应满足容许振动标准的要求。
5.2.5 台座隔振设计时,台座结构的一阶固有频率宜避开精密设备的固有频率。
5.2.6 隔振体系的各向阻尼比,均不宜小于0.10。

条文说明
5.2.1 减弱环境振动对精密仪器及设备的影响,需要采用综合措施,一般包括减弱建筑物地基基础和建筑物结构的振动、振源设备的主动隔振及精密仪器及设备的被动隔振,对于要求较高的精密仪器及设备,往往采取单一的措施不能达到目的,采取综合措施尤为重要。由于精密仪器及设备的振动是微量的,这样微量的振动影响因素及传递路径都较为复杂,因此在工程设计中,对它采取的综合措施常分阶段实施,期间还需要进行分阶段微振动实测,为下一步措施提供数据。
5.2.3 对于大型精密设备或对微振动要求较高的精密设备,设置台座结构,增大隔振体系质量,可减少外界振源对精密设备的影响。本条提出了精密设备台座结构的一般形式以及精密设备设台座结构的情况及用途。对于需要将若干个分离部分连成整体以及采用直接弹性支承的精密设备,需要设置台座结构,提高隔振系统的刚度。
5.2.4 隔振设计中采用商品隔振器时,要求供应商提供隔振器刚度、刚度计算中心坐标值、阻尼比等特性参数以及承载力及安装尺寸等数据,以便于进行隔振计算。
    对于配置空气弹簧隔振装置的商品隔振台座,要求供应商提供隔振体系固有频率、阻尼比、隔振台座承载力及高度控制阀的灵敏度等有关数据,以便于进行振动响应计算。
5.2.5 为了防止共振,台座隔振设计时,台座结构的一阶固有频率宜避开精密设备自身固有频率的1.5倍范围。
5.2.6 隔振体系各方向均需具备恰当的阻尼比,根据实践经验,一般不宜小于0.10。
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工程隔振设计标准 GB50463-2019
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