中国建筑科学研究院建筑防火研究所--消防规范网

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10 工艺相关系统


10.1 净化区
10.2 工艺排风
10.3 纯水
10.4 废水
10.5 工艺循环冷却水
10.6 大宗气体
10.7 干燥压缩空气
10.8 真空
10.9 特种气体
10.10 化学品

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硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
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