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10.5 工艺循环冷却水


10.5.1 工艺循环冷却水系统的水温、水压及水质要求,应根据生产工艺条件确定。对于水温、水压、运行等要求差别较大的设备,工艺循环冷却水系统宜分开设置。
10.5.2 工艺循环冷却水系统的循环水泵宜采用变频调速控制,应设置备用泵,备用泵供水能力不应小于最大一台运行水泵的额定供水能力。
10.5.3 工艺循环冷却水系统的循环水泵供电形式,宜采用双回路供电或采用大功率不间断电源(UPS)装置供电。
10.5.4 工艺循环冷却水系统应设置过滤器,过滤器宜设置备用。过滤器的过滤精度应根据工艺设备对水质的要求确定。
10.5.5 工艺循环冷却水系统的换热设备宜设置备用机组。
10.5.6 循环水箱的有效容积不应小于总循环水量的10%,且应设置低位报警装置和大流量自动补水系统。
10.5.7 工艺循环冷却水系统的管路应符合下列规定:
    1 配水管路应满足水力平衡的要求;
    2 应设置泄水阀或泄水口、排气阀或排气口和排污口;
    3 工艺冷却水管道的材质,应根据生产工艺的水质要求确定,宜采用不锈钢管、给水UPVC管或PP管,管道附件与阀门宜采用与管道相同的材质;
    4 非保温的不锈钢管与碳钢支吊架之间的隔垫应采用绝缘材料,保温不锈钢管应采用带绝热块的保温专用管卡。
10.5.8 工艺循环冷却水系统应结合工艺用水设备、工艺循环冷却水系统的设备及管路、冷却水水质情况,合理设置水质稳定处理装置。
条文说明
10.5.1 工艺循环冷却水系统是硅集成电路芯片生产的重要生产支持系统,工艺循环冷却水系统循环水量大,运行能耗高,如何根据工艺生产设备需求合理设计工艺循环冷却水系统是该系统能否正常运行的关键,所以工艺循环冷却水系统的设计应充分考虑工艺生产设备对水温、水压和水质的需求,经技术经济比较后合理设置。
10.5.2 工艺循环冷却水系统的实际使用负荷往往随着生产设备的实际运行而变化波动,为了满足水压、水量的要求,工艺循环冷却水系统的加压水泵通常都按变频恒压变流量的模式运行。设置备用泵是考虑工艺循环冷却水系统的运行安全。
10.5.4.10.5.5 工艺循环冷却水系统过滤器和换热器设置备用是根据工艺循环冷却水系统的重要性和运行安全考虑。
10.5.7 本条规定了工艺循环冷却水系统输送管路设置的常规要求。
10.5.8 水质对工艺循环冷却水系统非常重要,它不仅关系到系统本身的运行安全和稳定,也直接关系到与冷却水直接接触的工艺生产设备的运行安全和稳定。因此水质稳定装置的合理选择和设置必须充分考虑工艺循环冷却水系统的形式、系统中各设备和管道材料的材质以及工艺生产设备过水部分的材质,并结合防腐、阻垢和灭菌的需要。
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硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
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