4.9 硅材料制备

I 一般规定

4.9.1 生产装置的冷却用水应循环使用。

4.9.2 空气干燥、气温低的缺水地区，冷却工艺介质宜采用干式空气冷却。当采用湿法冷却时，冷却水应循环使用。

4.9.3 蒸汽凝结水应回收，回收率宜大于80%。

II 工业硅

4.9.4 工业硅炉的冷却用水应采用循环冷却水，水质为软化水。

4.9.5 工业硅水重复利用率不应小于95%。

III 多晶硅

4.9.6 多晶硅还原炉冷却宜采用间冷闭式循环水系统，水质宜采用软化水。

4.9.7 多晶硅、硅芯的清洗用水应使用纯水，宜采用节水清洗技术和装置。

4.9.8 泵机械密封拎却用水应回收利用或采用独立的循环冷却水系统。

4.9.9 全厂尾气淋洗用水应循环使用，补水宜采用回用水。

4.9.10 工艺装置区地坪冲洗水宜采用回用水。

4.9.11 高盐废水宜采用蒸发结晶方式回收水。

4.9.12 多晶硅生产项目宜设置循环水系统、高纯水系统、脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施。

4.9.13 还原炉筒清洗水宜使用纯水。

4.9.14 多晶硅项目水重复利用率不应小于95%。

IV 单晶硅

4.9.15 单晶炉冷却水宜采用闭式循环水系统，补充水宜采用软化水。对水温、水压、运行工况要求差别大的设备，循环冷却水系统宜分开设置。

条文说明

III 多晶硅

4.9.12 循环水、高纯水、脱盐水系统生产过程中会产生大量的洁净废水，这部分废水经回收后可再利用，从而达到减少水资源消耗，节能减排的目的。

4.9.13 还原炉筒清洗用水一般采用纯水，当条件有限时也可采用除盐水。

IV 单晶硅

4.9.15 闭式系统不仅可以节省一次投资与日常运行的费用，同时可以保证系统的水质不受外界的污染。要求差别较大的工艺冷却水系统宜分开设置，主要是考虑减少相互间的干扰。

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