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6.1 给排水
6.1.1 给排水系统应满足生产、生活、消防以及环保等要求,并应根据水质、水压、水温的要求分别设置。
6.1.2 生产和生活给水系统宜利用市政给水管网的水压直接供水。
6.1.3 当市政给水管网水压、水量不能满足要求时,生产、生活给水系统应设置贮水装置和加压装置。并应符合下列规定:
1 贮水装置不得影响水质;
2 加压装置宜采用变频调速设备;
3 加压装置应设置备用泵,备用泵供水能力不应小于供水泵中最大一台的供水能力。
6.1.4 洁净区内工艺设备的生产排水宜采用直接接管排水,当设置事故地漏时,应采取气密措施。
6.1.5 洁净区内的给排水管道应采用不易积存污物、易于清洗的材料,同时管道不宜设置在工艺设备上方。
6.1.6 生产厂房内使用或接触酸碱类化学品的区域,应设置紧急淋浴洗眼器。
6.1.1 集成电路封装测试厂的给排水系统通常包括一般生产给水系统(主要用于冷却塔和洗涤塔给水)、一般生活给水系统、纯水系统、工艺冷却水系统、生产废水系统、一般生活排水系统、消防给水系统等。各个系统对水质和水压和水温的要求都不一样,因此应根据安全合理、经济适用的要求分别设置系统。
6.1.4 在洁净室应避免水直接自地面排放。但是在一些用水点为尽快处置一些泄漏事故,通常会设置地漏以备泄漏事故之需,因此水封装置的设置和正常功能的保持就非常重要。
一般情况下,洁净室与外部环境的静压差为10Pa,通常排水要求的水封高度不小于50mm,这对隔绝室内外空气对流,保证洁净环境,减少洁净室运行能耗有重要作用。
6.1.5 洁净区工艺设备较为贵重,且需连续运行,如发生故障维修造成的损失较大。在设备上方设置排水管道会有水患风险,因此应尽量避免。
6.1.6 集成电路封装测试工厂往往使用一些腐蚀性、有毒有害的化学药剂,紧急淋浴洗眼器是安全和劳动保护必备的设备,是接触有毒、腐蚀性物质的场合必备的应急保护设施。当现场作业者的眼睛或者身体接触有毒有害以及其他腐蚀性化学药剂的时候,紧急淋浴洗眼器可以对眼睛和身体进行紧急冲洗或者冲淋,避免化学药剂对人体造成进一步伤害。
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- 3.1 一般规定
- 3.2 技术设备
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- 4.1 厂址选择
- 4.2 总平面布局
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- 5.1 建筑
- 5.2 结构
- 5.3 防火与疏散
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- 6.2 工艺循环冷却水系统
- 6.3 消防给水和灭火设备
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- 7.2 照明
- 7.3 接地
- 7.4 防静电
- 7.5 通信与安全保护
- 8 净化空调及工艺排风
- 8.1 净化空调
- 8.2 冷热源
- 8.3 工艺排风
- 9 纯水与废水处理
- 9.1 纯水
- 9.2 废水处理
- 10 气体与真空
- 10.1 大宗气体
- 10.2 干燥压缩空气
- 10.3 真空
- 附录A 集成电路封装测试厂工艺流程
- 引用标准名录
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