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10.3 真空


10.3.1  生产厂房工艺真空系统设计应符合下列规定:

    1  工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺实际用气量及系统损耗量确定;

    2  供气设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气站内;

    3  工艺真空系统宜设置真空压力过低保护装置。

10.3.2  工艺真空系统管道设计应符合下列规定:

    1  工艺真空管路应采用树枝状布置形式。

    2  工艺真空主管道直径应按照系统实际抽气量确定;主支管道直径应按局部系统实际抽气量确定;支管道直径应按设备最大抽气量确定。

    3  工艺真空系统管道材料宜根据工艺真空系统的真空压力及真空特性选用。真空站房内应采用镀锌钢管,站房外的室内真空管道宜采用镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道。

条文说明

10.3.1  由于工艺真空的压力对管道长度和直径非常敏感,为减少真空管道从真空使用点到真空站的距离,条文规定工艺真空系统设备应该放置于生产厂房的一个或多个真空站,根据真空系统的平面布置并经过真空系统计算确定真空站的具体位置与真空站数量,为防止因为压力过低导致真空系统与真空管道的破坏,条文规定工艺真空系统设置真空压力过低保护装置。

10.3.2  树枝状的真空管道布置节约管材,同时管道距离较短,容易形成真空,所以规定真空管道布置采用树枝状形式;另外考虑真空管道系统内部压力低于管道外的大气压,规定工艺真空系统选用镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯作为真空管道,一是防止管道因为真空压力过大造成管道的破坏,二是上述两种管道成本较低。

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集成电路封装测试厂设计规范 GB51122-2015
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