8.1 净化空调

8.1.4  洁净室与相邻的房间应保持一定压差，确保洁净室在正常状态或空气平衡暂时受到破坏时，气流只能从空气洁净度等级高的房间流向空气洁净度等级低的区域，使洁净室内的洁净度不会受到污染空气的影响。渗漏空气量与压差值有关，压差值选择应适当。若压差值过小，洁净室正压很容易被破坏，洁净室的洁净度会受到影响。若压差值过大，渗漏风量会较大，补充新风量就相应增加，新风空调冷热负荷也会相应增加，新风空调器容量也会增大，过滤器负荷也会增加，过滤器使用寿命也会缩短。试验结果表明：洁净室内正压值小于5Pa时，洁净室外的污染空气就有可能渗入洁净室内。室外空气在洁净厂房的迎风面上产生正压，在背风面上产生负压，因此，洁净室相对于室外的压差参照点应位于迎风面，洁净室与室外的相对压力应大于或等于5Pa。

8.1.5  集成电路封装测试厂洁净室面积大，新风量也大，通常采用多台新风机组集中处理新风，集中处理新风具有以下优点：①新风集中处理可以去除新风中的绝大部分的灰尘，有效延长末级高效空气过滤器(HEPA)的使用寿命。②新风集中处理有利于洁净室湿度控制，避免冷热抵销，节约能耗。③通常集成电路封装厂房新风机组有多台，一般并联运行。由于工艺设备分期安装，实际生产负荷率也是根据市场需求变化而变化的，工艺设备排风量会随运行设备数量和运行负荷率的变化而变化，新风量也是变化的，因此，新风系统送风机宜采用变频措施，以适应新风需求量的变化。

    此外由于洁净室内不同生产区域的洁净度等级、温度、相对湿度要求各不相同，发热量也不相同，因此，建议分区设置循环空调系统。

    对于循环空调系统包括冷却设备、高效空气过滤器、空气循环通道，空气冷却设备可采用循环空调机组或干盘管，为了避免盘管供水温度低于进风空气露点，将会导致结露产生冷凝水，对洁净室湿度控制产生干扰，同时采用干式冷却可以使用温度较高的冷冻水供水温度，可以采用中温冷水机单独制备中温冷冻水，提高了冷水机组性能系数，从而达到了节能效果。 

    夏季室外空气含湿量高于洁净室含湿量，需要去湿处理到露点，当室内发热负荷较小时，必须采用再加热或二次回风，才能使室内空气温度和相对湿度均达到设计状态，采用二次回风方式可以避免冷热量抵销，达到节能目的。

8.1.6  净化空调系统过滤器的选用和布置将会影响洁净室洁净度、过滤器使用寿命和运行费用。

    1  洁净室内空气含尘浓度与过滤器的总效率和换气次数直接相关，当送风换气次数确定后，如果过滤器总效率不足，将会造成洁净室空气浓度超出洁净度等级限值，无法满足工艺要求。末级过滤器效率直接影响送风含尘浓度和洁净室内空气含尘浓度，因此，末级过滤器效率选择是至关重要的。预过滤器(初效、中效、高中效、高效)对末级过滤器起到保护作用，如果预过滤器效率低，将无法对下一级过滤器起到保护作用，下一级过滤器的使用寿命将会缩短，如果两级过滤器效率过于接近，将会增加系统阻力，但总过滤效率增加并显著。为了延长集成电路封装厂房洁净室末级过滤器寿命和确保洁净室洁净度等级，其新风空调机组一般设置初效、中效、高效三级过滤器。

    2  空气过滤器阻力近似与处理风量平方成正比例。如果过滤器处理风量大于额定风量，阻力增加很大，空调系统运行电耗增加，同时，也会减少过滤器的容尘量和使用寿命，造成运行维护费用增加。

    3  如果空调箱的末级过滤器(中效或高效过滤器)安装在空调箱的负压段，污染空气会通过空调箱箱体缝隙渗漏进入空调箱内，将会使经过过滤处理后的清洁空气被再次污染，集中安装主要是便于维护。

    4  净化系统末级过滤器是整个系统的核心，安装在系统的末端可以有效滤除管路中污染物。

    5  同一净化空调系统采用阻力、效率相近的末端高效过滤器，随着系统运行时间增加，过滤器的阻力增加幅度相近，各过滤器的流通能力相同，可以保持各洁净区的洁净度满足要求，过滤器也基本上同时达到使用寿命，也便于维护管理。

    6  同一净化空调系统内末端高效过滤器的设计使用风量与额定风量的比值相近，各过滤器的积尘速度也相近，过滤器的阻力增加幅度相近，各过滤器的流通能力相同，可以保持各洁净区的洁净度满足要求，过滤器也基本上同时达到使用寿命，也便于维护管理。

    7  由于净化厂房空气循环量大，发生火灾时火灾污染物很容易扩散到整个洁净区，且恢复生产区洁净度难度大，因此，规定了“安装在洁净厂房洁净区内的高效空气过滤器应采用不燃材料制作”。高效空气过滤器滤芯和外框应采用不燃材料，密封胶应采用难燃材料。