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9.1 纯水
9.1.1 纯水系统设计应根据生产工艺要求,确定纯水制备系统规模、供水水质。当主体工程分期建设时,纯水系统应按最终规模统一规划、合理布局、分期实施。
9.1.2 纯水制备、储存和输送设备和材料除应满足水量和水质要求外,并应光洁、平整,化学性质稳定。
9.1.3 纯水系统应采用循环供水方式,并应符合下列规定:
1 纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的20%~50%;
2 纯水回水干管末端应设置背压调节阀组;
3 纯水管道流速选择应能有效防止水质降低和微生物的滋生,并应兼顾压力损失。供、回水管流速不宜低于1.5m/s和0.5m/s;
4 纯水输配管路不应出现死水滞留的管段;
5 纯水输配管路系统应根据系统运行维护要求设置对应的采样口;
6 工艺设备二次配管,隔离阀离设备较远时,宜安装回水管。
9.1.4 纯水系统水质检测设备及仪表的检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求。
9.1.5 纯水系统循环水泵宜采用变频控制,并宜设置备用泵。
9.1.6 纯水系统抛光回路中所需的保持流量与水质的设备宜接入应急电源。
9.1.7 纯水系统废水回收设计应与生产工艺设计密切配合,确定回收率。
9.1.1 集成电路封装测试生产过程中需使用纯水作为清洗用水,纯水制备系统需根据生产工艺的要求合理制定制备系统规模和供水水质,同时由于该类工厂往往产能很大,每个项目的实施均是总体统一规划,分期分步具体实施,因此作为主体工程的重要支持系统的纯水系统也应该配合主体工程的统一规划,合理布局,分步实施,以求技术经济最合理。
9.1.2 纯水系统设备及管道材料的选择方面,主要应考虑三方面的因素:
材料的化学稳定性:纯水是一种极好的溶剂,为了保证在输送过程中纯水水质下降最小,必须选择化学稳定性极好的管材,也就是在所要求的纯水中的溶出物最小。溶出物的多少应由材料的溶出试验确定,其中包括金属离子,有机物的溶出等。同时,材料还需能够耐受系统定期消毒灭菌。
管道内壁的光洁度:若管道内壁有微小的凹凸,会造成微粒的沉积和微生物的繁殖,导致微粒和细菌两项指标的不合格。
管道及管件的接头处的平整度对于防止产生流水的涡流区是非常重要的。
9.1.3 实践证明采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区,以减少纯水在管道内的停留时间,减小管道材料微量溶出物(即使目前质量最好的管道也会有微量溶出物)对超纯水水质的影响,同时,较高的流速还可以防止细菌微生物的滋生。
9.1.7 纯水制备可利用水源,包括自来水以外的再生水、甚至废水处理站处理后的水,体现面对水资源匮乏,设计中不能只考虑自来水而忽略其他水源。
纯水作为清洗用水经过工艺生产设备使用后,应尽可能做到“清污分流”,选择收集低污染度的清洗废水作为纯水制备的原水或其他次级用水的原水,促进水的循环利用和重复使用,实现高效率的一水多用,是实现纯水系统和全厂高回用率的关键所在。用后纯水的重复利用,既要达到高的回用率,同时也必须保证工艺设备的用水安全,因此确定回收水水质对纯水系统设计影响很大。回收水水质必须根据回收系统的处理工艺和处理能力来确定。在设计初期必须结合目前成熟可靠的工程技术和经济条件,做好相关的技术评估工作,既要确定可供安全回收的回收水水质,也必须考虑到回收水水质变化对纯水系统的影响。
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