10.1 大宗气体

10.1.2  大宗气体供应系统宜设置气体质量监控系统。

10.1.3  当气体的纯度大于99.9999％、露点低于—40℃时，大宗气体应设置终端气体纯化装置，气体终端纯化装置应设置在用气点处。

10.1.4  生产厂房内的大宗气体管道等应采取下列技术措施：

    1  管道及阀门附件内壁处理等级应满足输送气体的品质要求；

    2  混合气体管道的终端或最高点应设置放散管，放散管口应设置阻火器；

    3  混合气体管道应设置导出静电的设施；

    4  混合气体引入管道上应设置自动切断阀。

10.1.5  气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜符合下列规定：

    1  当气体纯度大于99.99％、露点低于—40℃时，宜采用内壁处理的不锈钢管，阀门宜采用波纹管阀或球阀；

    2  气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

10.1.6  气体管道连接，宜符合下列规定：

    1  管道连接宜采用焊接，不锈钢管宜采用氩弧焊；

    2  管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封接头，密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫。