4.4 设备配置

4.4.2  阵列、彩膜和成盒工序段主要的加工对象为玻璃基板。玻璃基板尺寸大而薄，极易破碎，且对表面的污染控制要求很高，采用专用工装进行搬运显然是必要的。而对于批量生产线，由于搬运量大、生产连续性要求高，更适宜采用全自动物料搬送系统。如采用人工搬运小车进行搬运，易造成搬运错误或不及时，并造成因洁净室内人员频繁走动引起的空气污染问题，从而影响产品生产的良品率等。出于同样的原因，跨层之间的产品垂直运输适宜采用自动化垂直运输设备，尽可能不采用(洁净)货运电梯的方式。

4.4.3  化学气相沉积机和溅射机等需定期进行腔体维修和靶材更换等，该设备及附近区域应配置必要的吊装起重设备。吊装起重设备的设置除应满足服务区域、起吊高度和使用负荷要求外，还应满足表面光洁、易清洁、不发尘、不挥发泄漏等洁净要求。