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10.4 工艺冷却循环水
10.4.1 工艺冷却循环水宜采用开式系统。
10.4.2 工艺冷却循环水系统所采用电源的安全性应与所保护的工艺设备的电源要求一致。
10.4.3 工艺设备循环冷却水系统的管道及阀门配件应根据水质、水温及水压确定。
条文说明
10.4.1 薄膜晶体管液晶显示器工厂的工艺设备较多，压力要求不一样，用开式系统更稳定、安全。
10.4.2 一旦停电，某些工艺设备如果没有工艺冷却水，会导致设备严重损坏，造成较大的经济损失。因此工艺冷却水系统的电源非常重要，除常规电源外，冷却水泵全部或部分要设柴油发电机电源或UPS电源备用。
10.4.3 薄膜晶体管液晶显示器工厂的工艺设备都很贵重和精密，故工艺冷却水对硬度、电导率、pH值等通常都有要求。因此所选用的管材、阀门也要符合水质要求。
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