14.1 一般规定

    1  工艺设备平面布置、运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高；

    2  一般给水排水、纯水、工艺冷却循环水、废水处理、消防等设备外形尺寸、平面布置、运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高；

    3  洁净、采暖、送风、排风、冷冻水等设备的外形尺寸、平面布置、运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高；

    4  冷、热源，大宗气体供应，压缩空气站，真空泵房，特种气体站房内设备的外形尺寸、平面布置、运行、维修、安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高；

    5  化学品供应及回收设备外形尺寸、平面布置、运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高；

    6  电气设备、照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架、母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高。

14.1.2  洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸、微环境装置及洁净气流控制等因素确定，阵列、彩膜、成盒区域不宜低于4m，模组区域不宜低于3m。

14.1.3  下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置、洁净气流控制等因素确定，不宜低于4m。

14.1.4  上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置、洁净气流控制等因素确定，不宜低于3m。