8.3 特种气体供应

8.3.2、8.3.3  根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定，特种气体储存分配系统设备应根据特种气体的性质和储存数量布置在独立的建(构)筑物内或生产厂房的专用房间内。

8.3.4  根据自燃、可燃特种气体的性质，布置在生产厂房内的特种气体设备分配间的火灾危险性应按甲类确定。

8.3.5  根据硅烷的物理化学性质，硅烷在空气中的燃烧范围为1.37％～96％。空气中硅烷浓度在1.37％～4.5％时，遇外界火源会产生爆燃，速度可达5m/s；当空气中硅烷浓度超过4.5％，处于亚稳定状态，会发生延迟自燃性；浓度越高，延迟时间越短，这种延迟自燃性会导致爆燃，甚至爆轰。硅烷的首要危害是它的自燃性，毒性为次要危害。硅烷的半致死浓度(LC50)为9600ppm(白鼠，4小时吸入)，工作场所最高允许浓度为5ppm。

    考虑员工及财产的安全，规定新建大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物内，但是根据我国目前在北京、南京已建成的几家TFT-LCD工厂的实际情况看，部分硅烷站与工厂的其他气体供应站布置在同一栋建筑内，因此规范对该条作了灵活处理，规定在平面布置有困难时，改、扩建项目的大宗硅烷站可与工厂其他气体供应站房布置在同一建筑物内，并用防爆墙与其他气体供应间隔开。

8.3.7  可燃特种气体包括自燃性、可燃性气体，此类气瓶柜的设置应依据该类特种气体的自燃性、可燃性特性，规定了气瓶柜内设置的相关规定，如排风次数、紫外红外火焰探测器设置、自动灭火系统以及自燃性气瓶之间设置隔离钢板等安全措施，以确保安全可靠运行。本条第1款规定硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，该款的依据是《洁净室消防标准》NFPA 318-2006第8.5.3条的相关条款，当硅烷满瓶时，压力为1500PSI，保证硅烷安全的体积浓度0.4％(爆炸下限为1.34％)时的排风量为284L/s，在气瓶柜体积为0.85m3的状况下，硅烷气瓶柜的排气次数为1200次/h。

8.3.8  为防止自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气被本质特种气体污染，引发着火、中毒或设备拉坏等事故，应在吹扫氮气管线设置止回阀。

8.3.9  自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统在抽真空或吹扫过程中排出的超过规定浓度的特种气体和特种气体混合气对环境与人体将会造成着火、中毒和损害设备、管路等安全危害，因此这些特种气体及混合气应通过排气管道进入尾气处理装置进行处理，达到规定浓度后才能排入工厂排气系统。

    为防止不相容性特种气体发生反应引发事故，不相容性特种气体应分别采用不同的尾气处理装置进行处理。

8.3.10  生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷，穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处应置于排风罩内。

8.3.11  工程实践表明，电子工厂特种气体和吹扫气体管道输送系统常用管道材料应采用SS304、SS316、SS316L等不锈钢无缝钢管和HC-22哈氏合金无缝钢管等。根据特种气体品种和纯度、杂质含量要求，特种气体管道内表面应进行洁净和钝化处理；管道内表面粗糙度，对BA管道要求小于Ra40，EP管道要求小于Ra25，为此作了本条的原则性规定。

8.3.12  管道系统产生的静电会导致管道系统发生燃烧等危险现象，因此规定可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地设施。

8.3.14  由于自燃性、剧毒性和强腐蚀性气体一旦泄漏，危害性极大，将会造成较大的人身伤亡和财产损失，目前在电子工厂中较多地采用双层管道输送这类特种气体，属于这类特种气体的主要有：强反应性气体：B₂H₆、H₂Se、GeH₄、SiH₄、Si₂H₆、SiHCH₃、C₂H₂、B(CH₃)₃、F₂、CIF₃等，自燃性气体：B₂H₆、GeH₄、SiH₄、Si₂H₆、SiHCH₃、B(CH₃)₃等，剧毒性气体：AsH₃、PH₃、GeH₄、B₂H₆、H₂Se、F₂、B(CH₃)₃、NO、CIF₃、PF₅等。但是在工程实际中，由于每一个工厂对气体特性的理解不同，从而导致同一种高危险性气体在不同工厂所使用的管道不一致，为此本条为推荐性条文。