6.2 防火及安全疏散

    (1)生产过程中需使用易燃、易爆的气体、化学品等，它们对洁净厂房构成潜在的火灾威胁；

    (2)洁净厂房的面积大、体积大，并且常常是平面布置、空间布置曲折，增加了疏散路线上的障碍，可能延长安全疏散的时间；

    (3)洁净厂房内电子产品生产过程需应用各种类型的精密、贵重的设备、仪器，建设投资巨大，一旦失火，将会造成极大的损失。

    鉴于以上主要特点，为了保障财产、人身的安全，严格控制厂房建筑耐火等级是十分重要的。

6.2.2  在现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472中，已对以下各工作间生产的火灾危险性作了明确规定：

    (1)薄膜晶体管液晶显示器工厂厂房中，有使用丁酮、丙酮、异丙醇等易燃化学品的洁净室，这些化学品均为易燃化学品，应属甲类，因此将电子工业洁净厂房设有这些化学品的储存间、分配间列为甲类。

    (2)洁净厂房中，常常使用H₂、SiH₄、AsH₃、PH₃等可燃、有毒气体，因此将设有可燃、有毒气体的储存、分配间列为甲类。

    (3)薄膜晶体管液晶显示器工厂的CVD间，在设备密闭性良好，并设有气体或可燃蒸气报警装置和灭火装置时，应按丙类设防，否则仍应按甲类设防。

    (4)薄膜晶体管液晶显示器工厂的显影、刻蚀间、模组装配间、彩膜生产间应按丙类设防。

6.2.3  阵列、成盒、彩膜、模组厂房具有大面积、大体量的特点，如第八代薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室面积已达90000㎡。这类洁净厂房通常由洁净生产区和洁净生产区各自设有的上、下技术夹层构成，厂房高度约为30m～40m。由于制造的生产工艺设备体量大，制造过程的连续性和自动化传输，所以生产工艺区是不能分隔的。

    在洁净厂房内净化空调系统混入新风前的回风气流中设置高灵敏度早期报警火灾探测器及其报警系统(Very Early Smoke Detection Apparatus，简称VESDA)，或称空气采样式烟雾探测系统(Air Sampling Type Smoke Detection System)，可以主动抽取环境中空气，只要空气中有烟雾，就能及时报警，并在火灾形成前数小时实现早期报警。本条规定的灵敏度是传统探测器的数百倍，做到早期发现，将火源消灭在初始状态。

    关键生产设备，主要是使用易引发火情的设备应设有火灾报警和灭火装置。

6.2.4  本条第3款，阵列、成盒、彩膜、模组厂房具有大面积、大体量的特点，如第八代薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室面积已达90000㎡，建筑高度达36.3m，其厂房内任一点到最近安全出口的距离达80m～120m。这类洁净厂房内使用可燃、易燃气体的关键设备均设有火灾报警、气体报警和CO₂灭火装置；这类厂房如前所述均设有高灵敏度早期烟雾探测系统，且此类厂房由于生产工艺设备体积大、连续性生产、自动化传输等因素，致使要实现厂房内任一点到安全出口的距离符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定十分困难；此类厂房中操作人员较少，人员密度极低，且人员流动巡查。因此本款规定：“阵列、成盒、彩膜、模组厂房，在关键工艺设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01％obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。当洁净生产区人员密度小于0.02人/㎡时，安全疏散距离不得大于120m。”

    本条第4款，阵列、成盒、彩膜、模组厂房具有生产工艺设备体积大、连续性生产、自动化传输等特点，洁净室内操作人员较少，人员密度极低，技术支持区内主要为人员流动巡查，因此当洁净室与技术支持区位于不同的防火分区时，可通过设置共用前室或安全通道共用疏散出口。

6.2.5  由于洁净厂房空间密闭，且设有人员净化、物料净化设施，一旦出现火情，消防人员进入洁净室的路径较困难，为此本条规定靠外墙洁净室(区)各层外墙应设供消防人员通往洁净室(区)的入口。

6.2.6  在薄膜晶体管液晶显示器生产中，因为生产部件尺寸较大，需要通过物料自动搬运系统传递。穿过不同生产楼层的自动化垂直搬运系统在物料进、出口处，因为连续传输无法采用防火卷帘等方式封闭，故按本规范第10.6.6条的规定设置水幕系统进行保护。

6.2.7  薄膜晶体管液晶显示器工厂生产使用所需要的低压、低沸点特种气体，由于输送过程中极易液化，无法采用长距离管道输送，不可避免地会设在厂房内，如高纯气体纯化间、有可燃气体的气体入口室、特种气体储存分配间、可燃化学品储存、分配间等。

    对于有爆炸危险的易燃、易爆化学品及气体的配送间在设置足够的泄压面积后，可大大减轻爆炸时的破坏强度，避免因主体结构遭受破坏而造成重大人员伤亡和经济损失。在现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016中明确规定，有爆炸危险的甲、乙类生产部位，宜布置在单层厂房外墙的泄压设施或多层厂房顶层靠外墙的泄压设施附近。