9.2 采暖、通风与废气处理

9.2.2  薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室通常有严格的洁净度和温、湿度要求，散热器表面易积灰且不易清除。另外，如采用散热器，室内的温、湿度也不容易控制。

9.2.3  本条规定是为了确保操作人员的身体健康和生产安全，因为薄膜晶体管液晶显示器工厂工艺设备生产过程中散发的大多为有毒、有害和易燃、易爆的物质。

9.2.4  本条对排风系统的设计作了规定。

    1  本款规定是为了提高有害物质的处理效率，因为有害物质在高浓度的状态下容易实现高效捕捉或清除。另外，对于单一有害物质，容易找到针对性的、高效率的处理方法。

    2  本款规定是为了对不同的有害物质进行针对性的处理，因为这四种有害物质的处理方法是完全不同的。另外，如果酸、碱废气不分开，会生成结晶物，该结晶物不易处理，且容易沉积，堵塞管路。设置备用风机和备用电源是为提高工艺排风系统的可靠性，从而确保工艺生产不会因排风机的意外故障而中断，也保证了操作人员的身体健康和生产安全。

    4  因为工艺设备局部排风管道中会有凝结液产生，该凝结液如不及时排除，将影响排风系统的正常运行或造成安全事故，该凝结液应收集，且应排放到相应的废水管道中进入废水处理站进行再处理。

    5  本款规定是为了满足消防和防腐的要求，因为有毒排风除了含有腐蚀性物质外，通常还含有易燃、易爆气体，所以该排风管应采用内涂聚四氟乙烯或其他防腐材料的不锈钢板制作。

    6  由于薄膜晶体管液晶显示器工厂的一般排风、有毒和有机排风中通常含有易燃、易爆气体，所以排风系统应采取相应的防火、防爆措施，具体措施包括排风管路系统的法兰跨接、系统接地以及风机防爆等。

    7  本款规定是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的失效，从而引发安全和生产的事故。另外，即使发生火灾时也不应将使此类排风系统停止运行，因为一方面排风系统可兼作排烟功能，另一方面薄膜晶体管液晶显示器工厂的局部排风系统排除的大多是有毒物质，一旦停止运行，工艺设备将向车间内散发比烟气毒性更大的有害物质。

    8  本款规定是为了使酸、碱、有毒和有机排风在经废气处理设备处理前处于负压状态，这样一旦排风系统发生泄漏，不会出现未经处理的有害气体直接排入大气的现象。另外，也可以使风机处于经废气处理设备处理后的低浓度腐蚀气体运行环境，延长风机的使用寿命。

    9  考虑到有毒排风系统中存在一定量的粉尘，时间一长会在排风管路中的某些地方(如上升或拐弯处等)沉积而造成堵塞，所以应在这些地方设置观察和清扫口。

    11  本款主要是考虑满足防微振的要求。

9.2.5  本条对废气处理系统的设计作了规定。

    1  本款规定是为了提高就地处理设备的转化效率和去除效率，从而使整个废气处理系统的处理效率得以提高，提高硅烷和二氧化硅的去除率可以减少粉尘在排风管路中的沉积量，从而降低排风管道的堵塞和维护频率。

    2  本款规定是考虑到有毒排风中不仅含有F-和Cl-酸根离子，而且还含有NH3，以及NH4Cl和NH4F粉尘。

    3  本款规定是为了提高废气处理的可靠性，避免因废气处理设备出现故障而使有害气体未经处理直接排入大气。

    4  本款规定是考虑到薄膜晶体管液晶显示器工厂酸、碱、有机、有毒排风中有害物质的浓度较高，如采用固定床吸附剂方式处理，吸附剂很快就会饱和，需频繁更换吸附剂，调查发现采用固定床吸附剂方式处理废气的企业大部分不及时更换吸附剂，从而影响了废气处理效果。

    5  本款规定主要是为了使废气处理设备处于最佳的工作状态，提高废气处理设备的处理效率，方便日常的操作维护。

    7  本款规定主要是考虑充分利用废热，达到节能降耗的目的。

    8  本款规定是考虑到剥离液中含有大量高沸点和雾状的有机物，高沸点有机物不易脱附，雾状的有机物会粘在转轮表面上不易脱附和清除，所以剥离液在进入沸石转轮处理设备前先进行预处理。

9.2.6  排气筒高度应满足规范、环评以及环保部门等要求，经处理过的酸、碱、有机、有毒废气虽然已满足排放要求，但不等于没有有害物，规定排气筒出口处的风速是为了使废气直接排入高空，避免新风机组的吸风口吸入。

9.2.8  薄膜晶体管液晶显示器厂房大部分工艺设备的一般排风为热排风，几乎不含有害物，该排风空气的焓值夏季远低于室外空气，而冬季又远高于室外空气，所以应作为洁净室的回风循环使用，以降低洁净室的能耗。