9.1 一般规定

9.1.2  洁净室(区)的气流组织应根据洁净度等级以及生产工艺要求确定。

9.1.3  净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定外，还应符合下列规定：

    1  温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统；

    2  温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空调系统。

9.1.4  洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值：

    1  补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和；

    2  保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m³。

9.1.5  洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：

    1  不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa；

    2  洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa；

    3  洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。

9.1.6  布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水管应采取减振措施。