3.2 化学品供应设备

3.2.1  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  电子工厂所用化学品基本都具有酸碱腐蚀、易燃易爆、有毒等特性，制定“将补充单元的设备、管路应设置于箱柜内，箱柜顶部宜装设高效过滤器”等规定是出于对生产与职业生命安全的考虑，将危险性的设备与化学品通过封闭的箱体与生产场所分开；在美国消防协会颁布的NFPA 318《洁净室防护标准》5. 1.5.1中规定：危险化学品应存贮在密闭的贮柜或工作站内；

    2  操作人员可以通过化学品种类等信息的条形码读码机了解系统信息，正确与安全地操作系统；

    3  设置清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪是为了保证化学品系统的洁净，由于有机溶剂会与水发生化学反应，规定有机溶剂化学品补充单元不设纯水枪；

    4  规定不同化学品采用不同型号和不同尺寸的快速接头是为了防止接头误用，造成生产与安全事故；

    5  可燃溶剂化学品供应单元设置防静电接地是为了消除设备与管道产生的静电，杜绝安全隐患；单元接地线与桶槽或槽车连接也是为了导除其设备产生的静电；

    6  美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室防护标准》5.1.5.3中规定：贮柜应该用不低于18号的钢材制造，门应该是自闭式的，并设有栓锁装置；

    7  化学品泵送设备或氮气输送设备设计备用装置是为了满足系统在故障情况下连续运行，保证主系统的正常运作；

    8  化学品桶槽用氮气密封是为了防止化学品与空气接触，污染系统；

    9  供应单元的出口设自动和手动阀是控制开关的需要，自动阀与监控系统连接是为了能实现自动控制。

3.2.2  化学品供应单元设备设计过流量计和紧急停止按钮是为了在系统流量过大或不符合工艺要求时，系统能够自动停机。

3.2.3  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  滚筒输送台用于运送200L化学品桶槽；

    2  补充单元为封闭柜体，补充单元柜体与供应单元柜体有许多相似之处，所以规定补充单元的其他设计应符合本节3.2.1条的相关规定。

3.2.4  压缩空气是化学品单元柜体气动元件的动力源。

3.2.5  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  化学品系统是电子工厂的重要支持系统，为保证系统不间断运行，循环泵的设计应二组并联，一台备用；

    2  电子工厂常用浓度计有超声波浓度计、电导式浓度计、滴定式浓度计；

    3  连续式是采用流量计并搭配静态搅拌器系统，批次式是采用高精度泵称并搭配循环系统；

    4  稀释单元为封闭柜体，补充单元柜体与供应单元柜体有许多相似之处，所以规定补充单元的其他设计应符合本节3.2.1条的相关规定。

3.2.6  可燃溶剂化学品供应单元设计热感应与火焰探测器是为了快速发现可燃溶剂化学品的泄漏及火灾隐患，及时启动二氧化碳消防灭火系统。

3.2.7  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  化学品储罐用氮气密封是为了防止化学品与空气接触，污染系统；

    2  检修口与不锈钢爬梯用于储罐检修；

    3  为防止化学品储罐在非正常情况下压力过高，破坏设备，规定氮气输送时，化学品储罐应设爆破膜、安全阀等泄压装置；

    6  为满足电子工厂在工艺系统技改时对化学品的要求以及在储罐或系统维修时放空储罐，规定储罐应预留必要的管路出入口，并应设排放口及排放阀。

3.2.8  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  根据对电子工厂生产厂房内设有危险化学品储存、分配间的调查，化学品储罐一般位于生产厂房底层，在各类化学品液体储罐之间设计防护堤，防护堤是用于储罐泄漏或检修用围堰，防止化学品外溢；美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室防护标准》第5.1.2条规定：“危险化学品的存贮和分配间应该有通向批准位置的排放系统，或是设计储罐围堰用于储存危险化学品溢出和20min的消防用水”；现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016-2006第4.2.5条规定：“甲、乙、丙类液体的地上式储罐或储罐组，其四周应设置不燃烧体防火堤，防火堤的有效容量不小于其中最大储罐的容量”，综合国内多电子工厂化学品系统的实际情况，条文规定防火堤容积应大于堤内最大储罐容积；

    2  为防止非燃烧的危害酸碱性、腐蚀性化学品泄漏造成的事故，规定酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体储罐应设置防护堤，参考第1款编制的理由，规定非燃烧性化学品防护堤容积应大于堤内最大储罐容积；

    3  现行国家标准《石油化工企业设计防火规范》GB 50160-2008第6.2.12条第2款和第6.2.16条第3款、第4款对可燃液体的地上储罐隔堤的设置条件作了明确的规定，参考上述条款，规定氧化性、腐蚀性化学品液体储罐与可燃溶剂化学品储罐之间，相互接触引起化学反应的可燃溶剂化学品储罐之间，应设置隔堤，隔堤容积应大于隔堤内最大储罐容积的10％；

    4  现行国家标准《石油化工企业设计防火规范》GB 50160-2008第6.2.17条第1款和第2款规定：“防火堤及隔堤应能承受所容纳液体的静压，且不应渗漏；卧式储罐防火堤的高度不应低于500mm”，参考上述条款内容，制定了本条款。以上4款为强制性条文，必经严格执行。

3.2.9  为将化学品储存、分配间内化学品泄漏的影响减小，同时能够有效回收泄漏的化学品，规定化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液收集沟，沟内应设置废液收集池。

3.2.10  制定本条规定的依据和参考资料如下：

    1  为满足电子工厂在工艺系统技改时对化学品的要求，规定阀门箱内支管数量按工艺要求确定，宜预留扩充的管接头；每一支管应设有手动阀、自动阀及排液阀，这些阀门的配置是操作所必须的；

    3  阀门箱的排气口连接排气处理系统，是一种生命安全及环保措施；

    4  阀门箱是需要经常打开的设备，弹簧扣环容易打开，可以满足该项操作功能，从安全角度考虑规定阀箱承受大于0. 01MPa的压力。