3.3 化学品供应管道系统

3.3.1  电子工厂的化学品属于危险性物质，管道架空敷设有利于管道的运行管理，可及时发现问题并便于维修。

3.3.2  化学品供应管道设计流向一般应从下往上，这主要是为了消除系统中的气泡，利于介质的流动。

3.3.3  为防止管路中的下述部位发生泄漏，规定酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点，任何存在转接头、三通、大小头、焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。

3.3.4  由于研磨液化学品的黏度较大，输送较为困难，规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离，并尽量减少弯头数量。

3.3.5  非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质，同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道。

3.3.7  条文中关于管道与阀门、设备连接时，应采用阀门、设备相同的连结方式是指阀门、设备配置的如法兰、双卡套、扩口、入珠、焊接等连接方式。