2 术语

2.0.1 特种气体 specialily gas
    电子产品生产的、掺杂、外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
2.0.2 特种气体系统 speciality gassystem
    是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gasroom
    是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silanestation
    是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、Y型钢瓶、长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建筑物、构筑物或区域。
2.0.5 数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisition（SCADA）
    是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。
2.0.6 工厂设备管理控制系统 facility management control system（FMCS）
    工厂公用设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。
2.0.7 大宗硅烷系统 bulk silane system
    是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO标准集装瓶组，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。
2.0.8 大宗特种气体系统
    一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统。
2.0.9 液态特种气体系统
    是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。
2.0.10 气瓶集装格 the bundle o fgas cylinders
    用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。
2.0.11 ISO标准集装瓶组 ISO module
    按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。
2.0.12 气瓶柜 gas cabinet(GC)
    特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备。
2.0.13 气瓶架 gas rack(GR)
    特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。
2.0.14 阀门箱 valve manifold box(VMB)
    特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。
2.0.15 阀门盘valve manifold panel(VMP)
    特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。
2.0.16 低蒸汽压力气体 low vaporpressure gas
    在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。
2.0.17 尾气处理装置 localscrubber
    自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。
2.0.18 气体探测系统 gas detector system(GDS)
    设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。
2.0.19 气体管理系统 gas management system(GMS)
    包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。
2.0.20 开敞式建筑 openarea
    立柱和墙面遮挡部分的面积小于外围面积25%的建筑。
2.0.21 不相容性 incompatible
    不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。
2.0.22 卧式气瓶 horizontal cylinder
    用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L，1000L。
2.0.23 自燃性气体 pyrophoric gas
    常温下在空气中会发生自动燃烧的气体。
2.0.24 可燃性气体 flammable gas
    指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。
2.0.25 毒性气体 toxic gas
    半数致死浓度超过200ppm但不超过2000ppm的气体。
2.0.26 剧毒性气体 virulent gas
    半数致死浓度不超过50ppm的气体。
2.0.27 腐蚀性气体 corrosive gas
    是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏的气体。
2.0.28 氧化性气体 oxygenize gas
    是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反应的气体。
2.0.29 惰性气体 inert gas
    在一般情况下与其它物质不会产生化学反应的气体。
2.0.30 限流孔板 restrict flow orifice(RFO)
    限定流体系统最大流量的一种装置。
2.0.31 过流开关 excess flows witch(EFS)
    流体系统的流量超出设定值时，给出开关信号。
2.0.32 AP管 acid polished pipe
    经过酸洗去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。
2.0.33 BA管 bright annealing pipe
    经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。
2.0.34 EP管 electro-polished pipe
    经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。
2.0.35 吹扫 purge
    用氮气或氩气对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换的过程。
2.0.36 排气 vent
    特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。
2.0.37 气体面板 gas panel
    集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。
2.0.38 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV)
    工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。
2.0.39 最高允许浓度值-时间加权平均容许浓度 threshold limit value-time weighted average（TLV－TWA）
    作业人员按每天8小时、每周5天工作制工作，不会受到伤害作用的时间加权平均浓度。
2.0.40 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)
    可燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。
2.0.41 最低着火浓度 low flammb lelimit(LFL)
    可燃性气体在空气或氧化气体中发生燃烧的浓度下限值。
2.0.42 最高着火浓度 upper flammble limit(UFL)
    可燃性气体在空气或氧化气体中发生燃烧的浓度上限值。
2.0.43 半数致死浓度 lethalcon centration for 50% of testedanimals（LC50）
    毒性物质使受试生物死亡一半所需的浓度。