6.3 管道设计

6.3.1 电子工厂应用的特种气体的品种多，且每种气体的使用量较小的实际情况，特种气体管道系统的管道设计中应充分考虑所输送的流体品种及其特性以及产品生产工艺所要求的动力、流量等参数进行设计，为此，作了本条规定。管材通常采用ASMEB36.10标准的Sch5或Sch10的进口管道，但是设计要符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的规定。
6.3.2 电子产品生产设备用特种气体的用量较小，压力较低，因此，在进行管道水力计算时应充分考虑流量、压力、温度等参数，按照流量设计图表对管道进行设计计算。据了解，目前电子工厂中的大多数特种气体管道的管径较小，不超过DN20。
6.3.3 由于电子工厂使用的特种气体要求具有较高的纯度，所以对输送管道的材质有严格的要求，目前主要是采用进口的低碳不锈钢管管，如EP管、BA管等。表6是进口不锈钢管在不同压力等级、壁厚和耐压等级。 6.3.4 为了保证液体的流动，规定液态特种气体水平管道应有不小于0.3%的坡度，坡向供液设备或收集器。
6.3.5 由于自燃性、剧毒性和强腐蚀性气体一旦泄漏，危害性极大，将会造成较大的人生伤亡和财产损失，目前在电子工厂中较多地采用双层管道输送这类特种气体，属于这类特种气体的主要有：强反应性气体：B2H6、H2Se、GeH4、SiH4、Si2H6、SiHCH3、C2H2、B(CH3)3、F2、ClF3等；自燃性气体：B2H6、GeH4、SiH4、Si2H6、SiHCH3、B(CH3)3等；剧毒性气体：AsH3、64PH3、GeH4、B2H6、H2Se、F2、B(CH3)3、NO、ClF3、PF5等。但是在工程实际中，由于每一个工厂对气体特性的理解不同，从而导致同一种高危险性气体在不同工厂所使用的管道不一致，为此，该条为推荐性条文。
6.3.6 为防止低蒸汽压力气体在输送过程中，因为冷却导致液化，导致输送困难，无法使用，本条规定低蒸汽压力气体应设置伴热或保温，电子工厂应用的低蒸汽压气体主要有BCL3、C5F8、WF6、SiH2Cl2、ClF3等。
6.3.7 为防止特种气体的泄漏和确保管道焊接质量，特种气体管道应采用全自动管道焊接连接；与阀门或管件连接处，应可采用径向面密封连接。
6.3.8 隔膜阀和波纹管阀都具有良好的密封性，且不易产生颗粒；而球阀、旋塞阀等，因采用填料密封，密封性较差，易发生泄漏；且阀门开关时有部件摩擦，易产生颗粒，不能满足特种气体的输送过程的严格要求。
6.3.9 为防止密封垫片与特种气体性质的不相容而产生化学反应，规定垫片应采用不锈钢垫片，垫片与特种气体的性质必须相容。
6.3.10 特种气体钢瓶接口处，在每次更换钢瓶时，因摩擦作用易产生颗粒，因此其下游应设置过滤器，保护阀门的膜片和下游气体不被污染。为了保证特种气体的纯度，在接入生产工艺设备前的特种气体管道上应设置精密过滤器。