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12.2 主要设备、 材料进场验收
12.2.1 气瓶柜、气瓶架进场验收应符合下列规定:
1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识,且完整无损;
2 气瓶柜体应由厚度不小于2.5mm的钢板构成密闭箱体,表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓;柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口。
3 气瓶柜、气瓶架应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识,并有管线、阀体及附件的连接图;
4 气瓶柜、气瓶架内引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵;
5 气瓶柜、气瓶架内的功能配置必须满足设计及合同要求,不得有缺项。
12.2.2 阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定:
1 应符合本规范第4.2节的有关要求;
2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓;
3 规格数量与功能配置应满足设计与合同要求;
4 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件,支撑件材质应采用不锈钢;不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上;
5 阀门盘上特种气体管路阀门连接应采用自动轨道氩弧焊接或径向面密封连接,不应采用线密封(卡套)连接。
6 阀门箱和阀门盘的结构应牢固可靠,有专门的固定点,面板应有气体的标识和铭牌,气体管道的种类、流向,控制阀门应有明显标识;
7 阀门箱应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标识;
12.2.3 尾气处理装置进场验收应符合下列规定:
1 燃烧尾气设备进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对;
2 燃烧尾气设备的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求,随机资料和专用工具应齐全;
3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查,并应符合设计和合同要求,随机资料应齐全;
4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告,铭牌、标识应齐全;
5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。
12.2.4 管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定:
1 在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损、变形;
2 检查合格的管道、管件及阀门的端口应立即将防尘管帽装好或用聚乙烯薄膜包好,并按种类、规格分别存放在洁净间的货架上,不得直接放在地面上。洁净间的洁净度不得低于7级(0.5μm);
3 进场的阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告,并有编号;
4 电气设备应有防腐蚀和防爆标识。
12.2.5 管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查,并应符合下列要求:
1 管道、管件、阀门应有独立的内包装,端口均应装有防尘帽;
2 管道、管件、阀门检查后必须恢复内包装及防尘帽;
3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查,规格尺寸、壁厚,圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求;
4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查,每批每种规格应随机抽查5%以上,且不得少于1件,其化学成分应符合产品的技术要求;
5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查,每批每种规格应随机抽查5%以上,且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查;
6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。
1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识,且完整无损;
2 气瓶柜体应由厚度不小于2.5mm的钢板构成密闭箱体,表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓;柜体顶部应设抽风口,柜门下方应设可调节空气过滤网进风口。
3 气瓶柜、气瓶架应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识,并有管线、阀体及附件的连接图;
4 气瓶柜、气瓶架内引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵;
5 气瓶柜、气瓶架内的功能配置必须满足设计及合同要求,不得有缺项。
12.2.2 阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定:
1 应符合本规范第4.2节的有关要求;
2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓;
3 规格数量与功能配置应满足设计与合同要求;
4 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件,支撑件材质应采用不锈钢;不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上;
5 阀门盘上特种气体管路阀门连接应采用自动轨道氩弧焊接或径向面密封连接,不应采用线密封(卡套)连接。
6 阀门箱和阀门盘的结构应牢固可靠,有专门的固定点,面板应有气体的标识和铭牌,气体管道的种类、流向,控制阀门应有明显标识;
7 阀门箱应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标识;
12.2.3 尾气处理装置进场验收应符合下列规定:
1 燃烧尾气设备进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对;
2 燃烧尾气设备的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求,随机资料和专用工具应齐全;
3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查,并应符合设计和合同要求,随机资料应齐全;
4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告,铭牌、标识应齐全;
5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。
12.2.4 管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定:
1 在非洁净室全数目测检查管道外包装,不得有破损、变形;
2 检查合格的管道、管件及阀门的端口应立即将防尘管帽装好或用聚乙烯薄膜包好,并按种类、规格分别存放在洁净间的货架上,不得直接放在地面上。洁净间的洁净度不得低于7级(0.5μm);
3 进场的阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告,并有编号;
4 电气设备应有防腐蚀和防爆标识。
12.2.5 管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查,并应符合下列要求:
1 管道、管件、阀门应有独立的内包装,端口均应装有防尘帽;
2 管道、管件、阀门检查后必须恢复内包装及防尘帽;
3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查,规格尺寸、壁厚,圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求;
4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查,每批每种规格应随机抽查5%以上,且不得少于1件,其化学成分应符合产品的技术要求;
5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查,每批每种规格应随机抽查5%以上,且不得少于1件,有不合格时应加倍抽查;
6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。
条文说明
12.2.1 国内外的气瓶柜、架做法各不相同,气瓶柜、架上的各种标识也不尽相同,目前国内也有很多厂家在生产气瓶柜、架。为方便统一管理,保证使用的安全可靠,对气瓶柜、架作统一规定。同时对气瓶柜、架内主体功能配制提出了要求,目的在于保证工艺需要、特种气体质量需要和安全功能的需要。
12.2.2 阀门箱和阀门盘除规定外观和基本功能要求外,在进场验收时,要注意阀门的支撑件是否符合本规范的要求,盘面阀门是否采用自动轨道氩弧焊接,焊接质量是否满足本规范的要求。采用微型弯头与微型三通的目的在于使阀门箱和阀门盘的布局紧凑,节约所占空间。
第5款规定阀门盘上特种气体管路阀门接头应采用径向面密封连接,不得采用卡套连接。气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头,常用的接头方式有两种:分别为径向面密封和卡套连接。径向面密封采用优良的金属垫,利用径向压力压紧,因此泄漏率极低,约为10~9Acc/s,且耐压较高,常用于气体杂质含量达1.0×10-9级的高纯气输送系统,而卡套连接泄漏量较高,约为10~6Acc/s,耐压较低,所以严禁使用卡套连接。
12.2.3 尾气处理装置组件较多,随机资料也较多,进场验收时需要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要求,因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作,质量好的玻璃钢可以使用15—20年,质量差的玻璃钢使用寿命只有2—3年,所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。
12.2.4 本条第1款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区打开,是因防止管道在搬运过程中造成弯曲,而采用了加固的木箱包装,为防止管道内外表面洁净受污染,内包装釆用了双层密封的塑料袋包装,并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同包装方法,所以外包装可在非洁净区打开,开箱后主要检查管道、管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤,防止受到污染。
第2款对验收合格的产品进行合理的保管,对保管的洁净环境作了规定。第3款为保证产品的质量和可追溯性,规定进场的阀门必须应具备相关资料。
12.2.5 本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包装,防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染。特规定验收的环境、内容和方法。
12.2.2 阀门箱和阀门盘除规定外观和基本功能要求外,在进场验收时,要注意阀门的支撑件是否符合本规范的要求,盘面阀门是否采用自动轨道氩弧焊接,焊接质量是否满足本规范的要求。采用微型弯头与微型三通的目的在于使阀门箱和阀门盘的布局紧凑,节约所占空间。
第5款规定阀门盘上特种气体管路阀门接头应采用径向面密封连接,不得采用卡套连接。气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头,常用的接头方式有两种:分别为径向面密封和卡套连接。径向面密封采用优良的金属垫,利用径向压力压紧,因此泄漏率极低,约为10~9Acc/s,且耐压较高,常用于气体杂质含量达1.0×10-9级的高纯气输送系统,而卡套连接泄漏量较高,约为10~6Acc/s,耐压较低,所以严禁使用卡套连接。
12.2.3 尾气处理装置组件较多,随机资料也较多,进场验收时需要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要求,因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作,质量好的玻璃钢可以使用15—20年,质量差的玻璃钢使用寿命只有2—3年,所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。
12.2.4 本条第1款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区打开,是因防止管道在搬运过程中造成弯曲,而采用了加固的木箱包装,为防止管道内外表面洁净受污染,内包装釆用了双层密封的塑料袋包装,并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同包装方法,所以外包装可在非洁净区打开,开箱后主要检查管道、管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤,防止受到污染。
第2款对验收合格的产品进行合理的保管,对保管的洁净环境作了规定。第3款为保证产品的质量和可追溯性,规定进场的阀门必须应具备相关资料。
12.2.5 本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包装,防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染。特规定验收的环境、内容和方法。
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- 3 特种气体站房
- 3.1 一般规定
- 3.2 特种气体站房分类
- 3.3 特种气体设备的布置
- 4 特种气体工艺系统
- 4.1 一般规定
- 4.2 特种气体输送系统
- 4.3 吹扫和排气系统
- 5 硅烷站
- 5.1 硅烷站工艺系统
- 5.2 硅烷站的布置
- 5.3 安全技术措施
- 5.4 采暖通风与空气调节
- 5.5 消防系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 材料选型
- 6.3 管道设计
- 6.4 管道标识
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 8.1 配电与照明
- 8.2 防雷与接地
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- 9.3 安全设施
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- 10 给水排水及消防
- 10.1 给水排水
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- 11 采暖通风与空气调节
- 11.1 采暖通风
- 11.2 空气调节
- 12 特种气体系统工程施工
- 12.1 一般规定
- 12.2 主要设备、 材料进场验收
- 12.3 气瓶柜与气瓶架的安装
- 12.4 阀门箱与阀门盘的安装
- 12.5 特种气体管道安装
- 12.6 特种气体管道改扩建工程施工
- 12.7 特种气体系统的检验
- 12.8 尾气处理装置的安装
- 12.9 生命安全设施安装
- 13 特种气体系统验收
- 13.1 一般规定
- 13.2 设备验收
- 13.3 管路与系统验收
- 13.4 气体探测/监控系统验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 特种气体系统验收测试记录表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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