3.1 一般规定

3.1.1 在电子工厂设计中，当供应和储存特种气体量较少时，为减少气体管道长度、保证气体质量，特种气体站房一般布置在生产厂房内一层的特种气体间。当供应和储存特种气体量较多时，为了安全需要，本节3.1.4条规定应将特种气体站房布置在单独的建构筑内或空旷区域内，利用室外管道输送特种气体至用气厂房，并应保证质量。
3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，用量相对较小。根据目前我国及欧美、日本等世界发达国家的特种气体供应情况，自燃性、易燃、毒性、腐蚀性气体多采用气瓶柜供应、氧化性、惰性气体多采用气瓶架、以及卧式气瓶、气体集装格等多种形式供应。
3.1.3 布置在单独建筑物或区域内的特种气体站，根据目前我国及欧美、日本等世界发达国家的特种气体实际供应情况。通常采用气体集装格、ISO标准集装瓶组、长管拖车等供应方式。
3.1.4 本条编制主要是依据美国消防标准《便携式和固定式容器装、瓶装及罐装压缩气体及低温流体的储存、使用、输送标准》NFPA55的6.3条（用房保护级别）和6.5条款（独立式建筑）的相关内容整合而成。6.3和6.5条的内容摘录如下： 3.1.5 生产厂房内的特种气体间集中布置在一楼靠外墙的区域主要理由有，一是特种气体的气瓶架、气瓶柜、卧式气瓶的实瓶运进和空瓶运出方便性；二是按照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定，特种气体间在建筑设计上应设置防爆措施，特种气体间的外墙可以设计为泄爆面；三是集中布置便于进行安全管理；四是集中布置有利于特种气体间的空调、排放、排气、GMS、GDS系统的合理设计。
3.1.6 低蒸汽压力特种气体供应设施尽可能靠近工艺设备是考虑这些气体的蒸汽压力较低，从气瓶柜到工艺设备的输送距离应尽可能短。