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6.1 一般规定
6.1.1 特种气体管道输送系统应包括特种气体储存、分配管道系统、工艺设备和尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力表(传感器)等部件。
6.1.2 生产厂房内特种气体管道的主干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内;与水电管线共架时,相对密度小于或等于0.75的特种气体的管道宜设在水、电管线下部;相对密度大于0.75的特种气体的管道宜设在水、电管线上部。
6.1.3 生产厂房内的可燃性和毒性特种气体管道应明敷,穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套管与管道之间应采用密封措施。可燃性、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处,应置于排风罩内。
6.1.4 可燃性、毒性特种气体管道不得穿过不使用此类气体的房间,当必须穿过时应设套管或双层管。特种气体管道严禁穿过生活区和办公区。
6.1.5 特种气体管道不得出现盲管及U型弯等死区。
6.1.6 可燃性、氧化性特种气体管道,应设置导出静电的接地设施。
6.1.7 室外布置的特种气体管道应架空布置。
6.1.2 生产厂房内特种气体管道的主干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内;与水电管线共架时,相对密度小于或等于0.75的特种气体的管道宜设在水、电管线下部;相对密度大于0.75的特种气体的管道宜设在水、电管线上部。
6.1.3 生产厂房内的可燃性和毒性特种气体管道应明敷,穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套管与管道之间应采用密封措施。可燃性、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处,应置于排风罩内。
6.1.4 可燃性、毒性特种气体管道不得穿过不使用此类气体的房间,当必须穿过时应设套管或双层管。特种气体管道严禁穿过生活区和办公区。
6.1.5 特种气体管道不得出现盲管及U型弯等死区。
6.1.6 可燃性、氧化性特种气体管道,应设置导出静电的接地设施。
6.1.7 室外布置的特种气体管道应架空布置。
条文说明
6.1.1 本条定义了特种气体管道输送系统的构成部件与要素。
6.1.2 在电子工厂的工程设计中,为使管道走向明晰,便于管理,生产厂房内特种气体干管,一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。由于特种气体多数具有可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性等、窒息性等危害特性,规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的原则。
6.1.3 为了防止可燃性、有毒特种气体泄漏后聚积,引发着火、爆炸事故本条规定此类特种气体管道应架空敷设。为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄漏后积聚,所以本条还规定在套管内的管道不应有焊缝。为及时排除可燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连接部位可能发生的气体泄漏,应将这些连接部位设置在抽风罩内。
6.1.4 由于不使用可燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工程上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置,可燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后,将可能发气体泄漏,引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布置,必须穿越时应设套管或双层管。为此作了本条强制性条文。
6.1.5 本条规定特种气体管道不得出现不易吹除的盲管等死区,避免U型弯。是为了防止在特种气体管道启用、维修时及时吹扫置换管道中的氮气、特种气体。
6.1.6 为防止静电积聚,引发着火事故,本条规定可燃性特种气体体、氧化性特种气体管道,应设置导除静电的接地设施。
6.1.2 在电子工厂的工程设计中,为使管道走向明晰,便于管理,生产厂房内特种气体干管,一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。由于特种气体多数具有可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性等、窒息性等危害特性,规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的原则。
6.1.3 为了防止可燃性、有毒特种气体泄漏后聚积,引发着火、爆炸事故本条规定此类特种气体管道应架空敷设。为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄漏后积聚,所以本条还规定在套管内的管道不应有焊缝。为及时排除可燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连接部位可能发生的气体泄漏,应将这些连接部位设置在抽风罩内。
6.1.4 由于不使用可燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工程上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置,可燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后,将可能发气体泄漏,引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布置,必须穿越时应设套管或双层管。为此作了本条强制性条文。
6.1.5 本条规定特种气体管道不得出现不易吹除的盲管等死区,避免U型弯。是为了防止在特种气体管道启用、维修时及时吹扫置换管道中的氮气、特种气体。
6.1.6 为防止静电积聚,引发着火事故,本条规定可燃性特种气体体、氧化性特种气体管道,应设置导除静电的接地设施。
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- 3 特种气体站房
- 3.1 一般规定
- 3.2 特种气体站房分类
- 3.3 特种气体设备的布置
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- 4.1 一般规定
- 4.2 特种气体输送系统
- 4.3 吹扫和排气系统
- 5 硅烷站
- 5.1 硅烷站工艺系统
- 5.2 硅烷站的布置
- 5.3 安全技术措施
- 5.4 采暖通风与空气调节
- 5.5 消防系统
- 6 特种气体管道输送系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 材料选型
- 6.3 管道设计
- 6.4 管道标识
- 7 建筑结构
- 8 电气与防雷
- 8.1 配电与照明
- 8.2 防雷与接地
- 9 生命安全系统
- 9.1 特种气体管理系统
- 9.2 特种气体探测系统
- 9.3 安全设施
- 9.4 特种气体报警的联动控制
- 10 给水排水及消防
- 10.1 给水排水
- 10.2 消防
- 11 采暖通风与空气调节
- 11.1 采暖通风
- 11.2 空气调节
- 12 特种气体系统工程施工
- 12.1 一般规定
- 12.2 主要设备、 材料进场验收
- 12.3 气瓶柜与气瓶架的安装
- 12.4 阀门箱与阀门盘的安装
- 12.5 特种气体管道安装
- 12.6 特种气体管道改扩建工程施工
- 12.7 特种气体系统的检验
- 12.8 尾气处理装置的安装
- 12.9 生命安全设施安装
- 13 特种气体系统验收
- 13.1 一般规定
- 13.2 设备验收
- 13.3 管路与系统验收
- 13.4 气体探测/监控系统验收
- 附录A 特种气体管道氦检漏方法
- 附录B 特种气体系统验收测试记录表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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