13.3 管路与系统验收

13.3.1 本条是对特种气体管路施工安装后的外观检查等作出的规定。在第2、3款针对管路施工出现的弯管裂纹或焊缝质量作出的有关规定，其中对于焊缝凹陷度、凸起度、错边和焊缝宽度等作出的量化数据的规定是根据近年来的工程实践的分析、统计作出的推荐性规定。
13.3.3 本条规定的特种气体管道安装后的压力试验要求，包括强度试验和气密性试验或泄漏量试验，由于此类管道大都输送具有一定纯度的各种特种气体，为避免污染和吹净水分的复杂过程，所以规定不能采用水压试验，本条规定采用高纯氮气或高纯氩气进行气压试验。气密性试验或泄漏量试验时间为24小时，为避免昼夜温度变化和长时间试验时的压力波动，所以应记录整个试验过程的温度、压力变化，并对记录值进行温度、压力修正后压降值不得超过1%。
    压力试验的压力修正公式如下：     式中：P1=初始表压
            P2=最终表压
            Patm=大气压力，通常为1.01bar(a)
            T1=初始周围温度°K（=℃+273.15)
            T2=最终周围温度°K（=℃+273.15)
13.3.4 由于特种气体有可燃性，有毒，腐蚀性、氧化性、窒息性等特性，这些气体在生产作业过程中一旦发生泄漏将会引发作火、中毒、腐蚀和损害作业人员健康等事故。为防止泄漏，本条规定特种气体管道再进行气密性试验或泄漏性试验后还应进行氦检漏试验，以便严格检查控制管道系统可能出现的泄漏点，确保管道施工质量。
13.3.5～13.3.7 这几条规定是为了确保特种气体管道投入运行后，不会因为管道内存在污染物或管道内壁吸附的污染物质逐渐释放或管道附件、阀门花簇渗漏污染物，影响输送的特种气体受到污染，达不到产品生产所要求的纯度，为此，应在特种气体进行氦检漏试验合格后进行纯度试验，根据所输送的特种气体种类和物理化学性质的不同采用不同的试验气体，包括颗粒测试、水分测试、氧分测试的纯度测试或纯度试验均采用增重法进行评价，即从被测试特种气体管道的测试气体引入端获取引入的测试气体的颗粒、水分、氧分含量，同被测试管道排出口的测试气体的相关杂质含量进行比较，若增量值未超过规定值，判断为验收合格。纯度测试用仪器应根据增量规定值的要求选用相应检测精度的分析仪器。
    颗粒度分析主要是检查高纯气体系统中各种尺寸超细颗粒的数量，也是系统纯度检查和纯度保证的一种方式，它对于辅助吹扫气源的颗粒度有严格的要求，一般要求0.1微米~0.5微米的颗粒数量为零，辅助吹扫气体的雷诺数应大于10,000，表9是各种尺寸管道颗粒检查对于吹扫气体流量及雷诺数的推荐要求：
    气体系统颗粒计数仪器大都采用激光式的计数仪器，激光颗粒计数仪主要应用光散射和分子布朗运动的基本物理性质制成，激光具有很好的单色性和极强的方向性，所以在没有阻碍的无限空间中激光将会照射到无穷远的地方，并且在传播过程中很少有发散的现象。
水分测试要求：为保证高纯气体系统的水分含量及系统的纯度，需要进行水分分析。一般情况下，直接阅读水分分析仪的显示数值。水分分析仪器有很多种，它的测量方式主要有电化学测量法和光学绝对测量法。
    氧分分析的目的和水分分析一样，也是检查气体系统纯度的一种方式，一般情况下，直接阅读氧分分析仪的显示数值，电子行业所用的氧分分析仪器主要为电化学分析仪器。