4.1 一般规定

4.1.1～4.1.2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性最大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能造成人员的生命危险。这些显而易见的危险，对于系统设计的安全性要求就十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。为了精确控制流量、压力、温度等参数，在气源一端一般应配置高精度的流量计、压力变送器、电子秤、温控器等。对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳-汤普逊效应。一般而言，气体减压后，温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。在管路及其附件的材质选择、管路催扫、测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求，为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，并在需要特种气体的生产工艺设备临近处设置阀门箱、阀门盘，辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。
4.1.3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此，作了本条的规定。
4.1.4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。