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4.3 洁净室布置和综合协调


4.3.1 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求:
    1 洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助用房,应合理分区布置;
    2 生产工艺或生产设备有特殊要求时,宜分隔为单独的房间;
    3 生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔;
    4 发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置;
    5 洁净室(区)的辅助设备、维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级;
    6 若需在洁净室(区)内设置洁净电梯时,应采取气闸间、洁净送风措施;
    7 应符合有关防爆、防火、消防等要求。
4.3.2 洁净室(区)的空间布置应满足下列要求:
    1 生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置,并应做到有效、灵活和操作方便;
    2 各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求;
    3 终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置,应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求;
    4 洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
4.3.3 洁净室(区)内应少分隔,但下列情况应予分隔:
    1 按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;
    2 在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间;
    3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备,宜分隔设独立房间。
4.3.4 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。

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电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008
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