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4.3 洁净室布置和综合协调
4.3.1 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求:
1 洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助用房,应合理分区布置;
2 生产工艺或生产设备有特殊要求时,宜分隔为单独的房间;
3 生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔;
4 发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置;
5 洁净室(区)的辅助设备、维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级;
6 若需在洁净室(区)内设置洁净电梯时,应采取气闸间、洁净送风措施;
7 应符合有关防爆、防火、消防等要求。
4.3.2 洁净室(区)的空间布置应满足下列要求:
1 生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置,并应做到有效、灵活和操作方便;
2 各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求;
3 终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置,应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求;
4 洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
4.3.3 洁净室(区)内应少分隔,但下列情况应予分隔:
1 按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;
2 在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间;
3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备,宜分隔设独立房间。
4.3.4 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。
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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 电子产品生产环境设计要求
- 3.1 一般规定
- 3.2 生产环境设计要求
- 4 总体设计
- 4.1 位置选择和总平面布置
- 4.2 洁净室型式
- 4.3 洁净室布置和综合协调
- 5 工艺设计
- 5.1 一般规定
- 5.2 工艺布局
- 5.3 人员净化
- 5.4 物料净化
- 5.5 设备及工器具
- 6 洁净建筑设计
- 6.1 一般规定
- 6.2 防火和疏散
- 6.3 室内装修
- 7 空气净化和空调通风设计
- 7.1 一般规定
- 7.2 气流流型和送风量
- 7.3 净化空调系统
- 7.4 空气净化设备
- 7.5 采暖、通风
- 7.6 排烟
- 7.7 风管、附件
- 8 给水排水设计
- 8.1 一般规定
- 8.2 给水
- 8.3 排水
- 8.4 雨水
- 8.5 消防给水和灭火设备
- 9 纯水供应
- 9.1 一般规定
- 9.2 纯水系统
- 9.3 管材、阀门和附件
- 10 气体供应
- 10.1 一般规定
- 10.2 常用气体系统
- 10.3 干燥压缩空气系统
- 10.4 特种气体系统
- 11 化学品供应
- 11.1 一般规定
- 11.2 化学品储存、输送
- 11.3 管材、阀门
- 12 电气设计
- 12.1 配电
- 12.2 照明
- 12.3 通信与安全保护装置
- 12.4 自动控制
- 12.5 接地
- 13 防静电与接地设计
- 13.1 一般规定
- 13.2 防静电措施
- 13.3 防静电接地
- 14 噪声控制
- 14.1 一般规定
- 14.2 噪声控制设计
- 15 微振控制
- 15.1 一般规定
- 15.2 容许振动值
- 15.3 微振动控制设计
- 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
- 附录B 电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例
- 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
- 附录D 洁净室(区)性能测试和认证
- D.1 通则
- D.2 洁净室(区)性能测试要求
- D.3 洁净室测试方法
- D.4 认证
- D.5 记录
- 本规范用词说明
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