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D.4 认证
D.4.1 洁净厂房性能测试认证前,应由业主与认证单位签订协议书,协议书中应明确检测项目、测点位置及数量、测量要求和限值等,如测量空气悬浮粒子浓度采样点数、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径,以及粒子数的限值等。
D.4.2 按协议书规定及本附录第D.2节的要求,以及本附录第D.3节的方法进行测试,若测试结果在规定的限值之内,说明该洁净室(区)符合规定要求。若测试结果超过规定的限值,说明该洁净室(区)不符合要求,应进行改进,在完成改进工作之后,应进行再认证。
D.4.3 每次性能测试或再认证测试应作记录,并提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:
1 测试机构的名称、地址;
2 测试日期和测试者签名;
3 执行标准的编号及标准出版日期;
4 被测试洁净室(区)的地址、测试项目、测点的特定编号及坐标图;
5 被测洁净室(区)的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室(区)所处的状态、气流流型和静压差、全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度;
6 测量用仪器的编号和标定证书;测试方法细则及测试中特殊情况,
7 测试结果包括所有测试项目的记录数据、分析结论等;
8 对异常测试值进行说明及数据处理;
9 注明上次的测试日期,
10 设施的测试档案可作为下次检测计划的依据。
D.4.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。
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- 15.1 一般规定
- 15.2 容许振动值
- 15.3 微振动控制设计
- 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
- 附录B 电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例
- 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
- 附录D 洁净室(区)性能测试和认证
- D.1 通则
- D.2 洁净室(区)性能测试要求
- D.3 洁净室测试方法
- D.4 认证
- D.5 记录
- 本规范用词说明
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