5.4 物料净化

5.4.1 洁净室(区)内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应物净设施。

5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。

条文说明

电子工业洁净厂房内，为避免多种物料搬入洁净室时，携带污染物影响洁净室(区)的空气洁净度，甚至影响电子产品质量，造成次品或废品的出现，因此本节规定各种物料搬入洁净室(区)的下列基本规定

1 洁净室(区)的设备和物料出入口，应独立设置。此类出入口不得与人员出入口混同使用，避免污染物混杂、交叉。但对于洁净室规模较小，如建筑面积只有几十平方米的洁净室，设备和物料出入口是否应独立设置，应根据具体工程项目情况、物料状态、洁净室内人员数量等实事求是地确定。

2 洁净室(区)应设有设备和物料净化用室，并在此房间内设有相应的物料净化设施，对搬入洁净室(区)的设备和物料进行净化处理。该物净用室的面积、空间尺寸和物净设施，应根据物料的特征、性质、形状等确定，比如按物料的包装方式、物化性质的不同，可采取真空吸尘、压缩空气吹除、擦拭等不同方法进行物料净化处理等。

3 洁净室(区)的物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。本条规定不仅是确保物料的搬入不影响洁净室(区)的空气洁净度的变化；而且是保持物料出入口处，洁净室(区)与非洁净室(区)静压差的基本条件，也是物料出入口处，洁净室与非洁净室的分界和分隔。因此，第5.4.2条是强制性条文。

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